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江苏达胜加速器制造有限公司

DD型

高频高压型电子加速器

操作手册

目 录

一、

安全指示 ………………………………………………………………… 2

1.1 安全规范 ……………………………………………………………… 2

1.2 机器铭牌 ……………………………………………………………… 4

二、

规格 …………………………………………………………………… 4

2.1 Specification 规格表……………………………………………………… 4

2.2设备简介 ……………………………………………………………… 5

2.3 Legend of the Machine 主要部件 ……………………………………… 7

2.4 Machine Dimension 机器尺寸 ………………………………………… 17

三、

安装 ………………………………………………………………………1 8

3.1 Safety Rules for Machine Movement 搬运安全事项……………………… 18

3.2 Lifting the Machine/Drawing 搬运方法(图) ………………………………1 8

3.3 Installation / Drawing 安装方法/图………………………………………… 18

3.4Installation and Leveling 安装及水平校正………………………………… 19

3.5 Power Supply Requirement 电源要求……………………………………… 20

3.6 Connect Power Source Wires 外部电源连结…………………………………22

四、

操作 ……………………………………………………………………… 23

4.1 Operator Position 操作位置………………………………………………… 23

4.2 电控柜及控制界面说明 ………………………………………………… 23

4.3 Emergency Stop 紧急停止 …………………………………………… 28

4.4 Operation Procedure操作规程…………………………………………… 28

五、

维修保养 ………………………………………………………………… 35

5.1日常维护 …… ………………………………………………………… 35

5.2设备检修…… …………………………………………………………… 36

5.3故障排除 … …………………………………………………………… 42

六、

Electric 电气安全 ……………………………………………………… 43

6.1 Safety Rules For Electrical Control System 电控系统安全规则 … … 43

6.2电路原理及电路图 … ………………………………………………… 44

6.3备品备件清单 … ……………………………………………………… 46

一、 安全指示

1．1安全规范

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为了使DD型加速器能安全有效地工作，请仔细阅读并理解本说明书。

危险

1．安装或操作前请仔细閱读并理解本說明书。安装、操作、修理及维护必须

通过专业人员进行。

2．用户应对设备的保护接地的大量国际与国内电内电气标准的一致性负责。

3．不能触摸未受保护的电器元件和带电的接线端子螺钉。

4．在通电或起动与停止之前应关闭电控箱或机柜门。

5．在电器维修之前，断开所有电源，并在操作面板处放上“严禁操作”标记。

电击会导致死亡或严重伤害。

危险

1．安装或操作前请仔细閱读并理解相关的高频振荡器、ECS控制系统、水冷

却/恒温系统等說明书。

2．如需带电作业，操作者必须穿戴绝缘手套、绝缘胶鞋，并有二人在场时才

能工作。

3．接触高频设备的人员，必须懂得高频设备的原理和维修，并有高、低压电

器操作证

。

不正确操作会导致死亡或严重伤害。

重要提示

在加速器高压调试时，即使不引束，在辐照厅、特别是扫描盒附

近，也可能有强烈的辐射，这是由加速管内的冷电子发射经高压加速

而形成的。特别注意不能靠近钛窗下面，这里可能有高能杂散电子从

钛窗射出，当皮肤、眼睛等人体器官被电子照射后，将导致严重的射

提示

新装的加速管必须经过锻炼才能正式投入使用。锻炼的通常步骤为：

① 充分抽真空，达到或接近系统所能达到的最佳真空度（10

－

6

Pa范围）。

② 逐步升高端电压，到真空度明显变差时（通常不应差于10

－

5

Pa范围）

停止升压，等待真空回到正常水平后，再进一步提升高压。重复此过程直到加

速器的高压能够稳定在额定值的～1.1倍时，电压锻炼完成。锻炼过程中加速

管内部会发生小的放电和击穿，表现为真空度随放电而下跳，这是正常的。但

锻炼中应避免发生大击穿（声光相伴、以及真空度大幅急剧下降），此时应适

当调低电压。

③ 电压锻炼完成后要进行束流锻炼：将加速器的高压降低至额定值的～

0.9倍，逐步引出束流，到真空度明显变差时，等待真空回复后再进一步增加

束流。重复此过程直到束流达到额定值为止。然后再逐渐提升高压至额定值，

趋稳后，束流锻炼完成。

已经锻炼过的加速管在加速器停机、特别是加速管破坏过真空后，重新开

机时必须再次进行锻炼，过程的长短，随停机时间的长短和真空破坏的具体情

况而异，以真空度达到正常稳定状态为准。

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注意！

在进行束流锻炼前，必须确认聚焦、导向、扫描均已调整到最佳状态，束

斑在钛窗上位置正确！

提示

SF6的绝缘性能与其纯度和含水量有关。当气体湿度太大时，可导致钢筒

内的绝缘构件受潮而发生放电和击穿。加速器运行中的放电打火会使SF6分

解生成SF4、SOF2、SO2F2和HF等有毒和腐蚀性成分，它们对人体和加速

器内部的某些零部件是有害的。因此SF6气体需要定期进行循环处理，通过

吸附塔去除其中积累的水分和放电产物，这对延长加速器的使用寿命和提高其

运行的可靠性是十分重要的。

提示

只有加速器打算长期停机或进行检修时，才关闭抽气系统。否则，真空系

统应该连续运行，使加速管内保持高真空。

在加速器束流系统的检修中，必要时可利用插板阀隔离，只单独对系统的

某一部分放入大气，而维持其它部分为真空状态，但检修完毕开启插板阀前，

必须利用旁抽管道先使两面压力平衡，否则会损伤插板阀和分子泵。

当抽气长久达不到应有的真空度时，应使用氦检漏仪对系统检漏。此时可

以利用插板阀进行分隔，从下到上，有序进行。

1．2机器铭牌

二. Specification 规格

2.1 Specification 规格表

最大束流强度（mA）

最大出束能量（MeV）

高频高压型电子加速器

2.1.2 Specification规格表

产品型号

技术指标

最大能量

最大电子束能量

电子束能量

可调范围

电子束流强

可调范围

(连续可调)

能量稳定度

DD1.5 -60

1.7 MeV

1.5 MeV

0.8 -1.5MeV

0.5-60 mA

(0.8MeV时)

0.5-60 mA

(1.5MeV时)

DD2.0 -50

2.4MeV

2.0MeV

1.2 -2.0MeV

0.5-50 mA

(2.0MeV时)

0.5-60 mA

(1.5MeV时)

DD2.5 -40

2.8MeV

2.5MeV

1.5 -2.5MeV

0.5-40 mA

(2.5MeV时)

0.5-50 mA

(2.0MeV时)

优于±1%

DD3.0 -30

3.3MeV

3.0MeV

1.5-3.0 MeV

0.5-30 mA

(3.0MeV时)

0.5-50mA

(2.0MeV时)

DD4.5 -20

5.0MeV

4.5MeV

2.5-4.5MeV

0.5-20 mA

(4.5MeV时)

0.5-30mA

(3.0MeV时)

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束流稳定度

扫描宽度

扫描不均匀度

负载运行真空度

配备高频机

电能转换效率

最大束流功率

工作方式

控制系统

绝缘气体系统

扫描窗冷却

90 KW 100KW

KF225-100 KF225-120

优于±2%

在1000-1700mm之间有多种规格扫描窗供客户选择

（扫描宽度在一定范围内可设定调整）

≤10%

优于7×10

－

5

Pa（需在加速器出束工作一段时间后方能达到）

KF225-120

100 KW

可长时间满功率运行

采用西门子PLC+工控机（或触摸屏）的全自动计算机控制系统

使用SF6气体作为绝缘气体

提供风冷、水冷配套系统（满足束下安装翻转磁铁后使用要求）

KF225-120

KF225-120

90 KW

>55%

100 KW

2.2 设备简介

2.2.1 功能

DD型(Dynamitron型)电子辐照加速器是一种高频高压电子辐照加速器，用来加速

电子，作为工农业生产用的辐照源，它的主要组成部分包括：高压系统、高频振

荡器、加速管、电子枪、引出扫描系统、真空系统、SF

6

气体处理系统、辐射防护

监测系统和控制系统等。

2.2.2 产品特点

本公司生产的加速器具有以下特点：

从用户角度出发，注重产品长期运行的稳定和可靠性，操作简单，安装容易，

维护方便，冗余设计的监控和连锁功能确保设备和人身的安全。

双指标的设计：同一台加速器运行在不同的能量时基本保持额定束功不变，比

如2.5MeV-40mA加速器运行在1.8MeV时可以达到50mA。客户可以根据辐照产品

的不同灵活掌握，大大提高辐照效率。

优化产品配置：为了用户方便和产品的稳定可靠性，增加了一些辅助设备

比如 增加一台离子泵，在真空正常后真空维持不需要开分子泵，在出现意外

停电时不会破坏真空，大大提高了真空系统的使用寿命。

在加速管和扫描系统之间增加了一个插板阀，在更换钛箔时不会破坏加速管真

空，即缩短了真空恢复的时间，又提高了加速管和电子枪的使用寿命。

先进的高频机设计 双LC滤波电路，脉冲调制和输出电路使得高频输出

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的稳定性达到国外同类产品的先进水平。电子振荡管的负高压接法可防止冷却水套

中形成水垢，电子管不需定期清理。

加速管 采用95氧化铝与钛材在真空焊接炉内一次钎焊成型，与传统胶接类

加速管相比较具有三高（高电压、高真空、高气压）特性好，使用寿命长，锻炼时

间短的优点。综合机械性能、真空性能、电性能均大大优于胶接类加速管，同时避

免了生产制造过程中所产生的有机成分。

电子枪 由置于高压球帽内的发电机供电。这样的供电方式，束流和频率单一

对应，跟随快，便于和束下装置联动，有利于提高工作效率和辐照产品的质量。

为了提高可靠性和稳定性，我们采用了美国原装进口的发电机。

SF6气体处理系统：原结构是落地管道现场安装的形式，该形式的缺点是占地

面积大，安装复杂，调试困难。现改为集成箱式结构，PLC自动控制，该系统的安

装，运转，联机调试在出厂前完成，大大减少了现场安装调试时间，且安装方便，

操作简单，外形美观，占地空间小，自动化程度高。

冷却水处理系统：国内加速器配套的冷却水系统为开放式结构，落地管道现场

安装，安装时占地面积大，温度损失严重，没有统一布局，现场杂乱。我公司把冷

却水处理系统改为集成的结构形式，优点为：

a. 稳定耐用

此系统的制冷压缩机采用进口名牌全封闭压缩机，噪声小、效率高。运行

稳定。

b. 安装简便

只要按我们提供的土建预埋要求，事先预埋好冷却水管路。水系统只需落

在上面再用金属软管连接即可，不需要繁琐的水管连接工作。

c. 操作方便

此系统操作集中在机体控制面板上，操作一目了然。进口微电脑显温控器，

设定自如，控制精确。且可根据加速器损耗功率自动调节流量。

d. 此系统除制冷压缩机自身保护装置外，还配有空气开关、热过载保护、制

冷高低压保护、电源相序保护、水箱缺水保护、水泵未开连锁保护、延时

控制功能及自动复位运行功能，确保此系统安全运行。

2.3 Legend of the Machine 主要部件

加速器由直流高压发生器、电子束加速与扫描引出系统、计算机控制系统以及

真空、气体处理、水处理等辅机系统组成。各主要部分概述如下（参见图1－4）：：

（1） 高频振荡器

高频振荡器的作用是把电网的电能由工频转换为120KHz左右的高频，其性能

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决定着加速器的最大束功与束功转换效率。

振荡器的基本元件是振荡管。振荡管的供电采用阴极接直流负高压，阳极接直

流地电位的模式，从而简化了振荡管的冷却回路。谐振回路由钢筒内的环形自耦变

压器（构成回路的电感L）和半圆筒高频电极与钢筒内壁和倍压芯柱之间的分布电

容（构成回路的电容C）组成。振荡管阳极与环形变压器初级之间通过高频电缆连

接。栅极所需的正反馈电压则通过置于钢筒与高频电极之间的耦合电容板取得。

环形变压器是高频振荡器的关键部件，它需要在高频、高压和大功率负荷的条

件下工作，要求漏磁小、Q值高，结构牢固，制作和安装的工艺都要求较高。环形

变压器的损耗仅次于振荡管，在相当程度上决定了加速器的束功转换效率。钢筒顶

端安装有热交换器和风冷系统，把变压器散发的热量带走，并对钢筒内的其他部件

进行冷却。

振荡管的直流负高压由可控硅直流稳压电源供电，它由一个工频三相升压变压

器和一个三相桥式整流滤波单元组成，可输出0－18KV、0－25A的直流负高压。可

控硅调节单元置于变压器初级回路中，用来改变初级进线电压从而调节振荡管的直

流工作参数，以达到调节加速器端电压和束功的目的。可控硅调节单元还从加速器

高压测量单元取得信号，通过计算机控制来稳定加速器的能量。

（2）整流倍压系统

整流倍压系统是以两块垂直地固定在钢筒底板上的绝缘板为骨架，在两块绝缘

板上间隔均匀地从下至上各安装一排硅堆，两排硅堆彼此依次联接组成一条螺旋上

升的硅堆整流链。在每个硅堆的连接点上水平地安装一个半电晕环，两列上下整齐

排列的半电晕环，构成了整流倍压系统的圆柱外观，并把硅堆屏蔽在其中（参见图

1）。对称的两列半电晕环正好与固定在钢筒内壁的两个对称的半圆筒高频电极同轴

对应，每个半电晕环与高频电极之间即构成了分布电容Cse。半电晕环和高频电极

之间的尺寸配合精确，其表面平滑光亮。这种几何结构与静电加速器非常相似，其

几何设计，必须既满足高频耦合参数的要求，也必须符合高压静电场的场形设计。

硅堆是加速器的关键部件之一。它由整流芯子和带保护球隙的金属屏蔽盒组

成，每个硅堆的平均输出电压为50KV。整流芯子由数百只硅二极管串联而成，其电

路设计采取了均压和限流措施。

所有高频高压和直流高压的部件都安装在压力钢筒内，充以0.65MPa的 SF6干

燥绝缘气体，使得加速器具有足够安全的绝缘强度。

2.3.2 束流加速系统。由加速管和电子枪组成。

（1） 加速管

加速管是电子在其中成束并被加速的部件。它需要在高真空里（10

－5

～10

－6

Pa）

稳定可靠地建立一个均匀的高梯度直流加速电场（～20KV/cm）。由于真空中的击穿

放电机制复杂，至今还不十分清楚，因此，加速管成为加速器里最脆弱的环节，是

各类高压型加速器提高端电压的主要限制。在制造、运输、安装和运行时均须小心

谨慎。

加速管的基本单元是长约300mm的工艺段，采用先进的金属陶瓷焊接工艺制成。

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整根加速管由一定数量的工艺段组装而成。由于在制造和装配过程中排除了有机污

染，每个焊缝都经过严格的处理和检测，因此这种加速管比用有机胶粘接方法制造

的加速管机械强度高，真空性能好，电性能优越，使用寿命也更长。

加速管安装在整流芯柱的中心，顶端与高压球帽相接，底端接地。其电位分布

大体与整流柱中的电位分布一致。加速管外侧装有均压电阻链，使其具有独立分压，

每个绝缘环还装有保护放电球隙，以防止过电压冲击。

提示：

新装的加速管必须经过锻炼才能正式投入使用。锻炼的通常步骤为：

① 充分抽真空，达到或接近系统所能达到的最佳真空度（10

－6

Pa范围）。

② 逐步升高端电压，到真空度明显变差时（通常不应差于10

－5

Pa范围）停止

升压，等待真空回到正常水平后，再进一步提升高压。重复此过程直到加速器的高

压能够稳定在额定值的～1.1倍时，电压锻炼完成。锻炼过程中加速管内部会发生

小的放电和击穿，表现为真空度随放电而下跳，这是正常的。但锻炼中应避免发生

大击穿（声光相伴、以及真空度大幅急剧下降），此时应适当调低电压。

图1 倍压整流芯柱

图2 加速器主体

③ 电压锻炼完成后要进行束流锻炼：将加速器的高压降低至额定值的～0.9

倍，逐步引出束流，到真空度明显变差时，等待真空回复后再进一步增加束流。重

复此过程直到束流达到额定值为止。然后再逐渐提升高压至额定值，趋稳后，束流

锻炼完成。

已经锻炼过的加速管在加速器停机、特别是加速管破坏过真空后，重新开机时

必须再次进行锻炼，过程的长短，随停机时间的长短和真空破坏的具体情况而异，

以真空度达到正常稳定状态为准。

注意！在进行束流锻炼前，必须确认聚焦、导向、扫描均已调整到

最佳状态，束斑在钛窗上位置正确！

图3 电子枪和加速管

（2） 电子枪

加速管的顶端安装电子枪。电子枪采用由钨合金丝绕制的直热式盘香形阴极，

钨丝直径～0.8mm。阴极加热后发出的电子被加速管上端的引出极（也称吸极）引

出成束进入加速管加速。为了在钛窗处获得所需要的束斑尺寸，电子枪和引出区以

及整根加速管的电场要合理配置，经计算确定。

电子枪的供电功率由置于高压球帽内的发电机提供。发电机由固定在钢筒底座

上的变频电机通过一根绝缘轴带动。改变变频电机的工作频率，即可方便快速地改

变发电机的转速从而改变电子枪的加热电流，达到调节束流的目的。这样的供电方

式，束流和频率单一对应，跟随快，便于和束下装置联动，有利于提高工作效率和

辐照产品的质量。 图3所示为电子枪和加速管。

2.3.3 扫描引出系统

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电子束离开加速管后经漂移管进入辐照厅。穿过扫描磁铁组件时，在三角波磁

场的作用下，进行X和Y相互垂直两个方向的扫描。最后经长条形的钛窗引出。钛

箔的厚度既要有足够的强度以抵抗真空压力，又要尽量减少电子束在穿越时的能量

损耗。我们取0.04mm。即使如此，钛箔上的能耗仍旧相当可观，因此沿钛窗安装了

一把风刀，针对钛箔进行强风冷却。

另外，在加速管出口至扫描磁铁之间的漂移管外面，还安装有聚焦线圈和导向

线圈，用以调节束流的聚焦和方向。

扫描磁铁由专用三角波激磁电源供电，X方向的扫描频率为150Hz，Y方向为

3000 Hz。

引出扫描系统参见图4。

2.3.4 控制系统

计算机控制系统的主要功能是：监控加速器的正常运行，实施安全连锁，并与

束下装置联动配合。

（1）加速器启动运行的前提条件是：

·冷却系统风、水工作正常

·加速器厅与辐照厅送排风启动

·加速器厅与辐照厅防护门关闭

·高频机柜门关闭

·钢筒温度、高频机柜温度和振荡管冷却水温度达标

·一般要求真空度好于7.5×10

-5

Pa，（最低要求真空度好于5×10

-4

Pa）

1、加速管支架 2、钢筒底座 3、插板阀 4、溅射离子泵 5、四通 6、波纹管 7、分子泵 8、

电磁真空截至阀 9、电磁真空带充气阀 10、机械泵 11、聚焦线圈 12、导向线圈 13、

漂移管 14、芯管及扫描线圈 15、气动箱 16、扫描盒 17、束流挡板

图4 真空抽气与引出扫描系统

（2）加速器在运行过程中还与多个参数发生连锁关系，如：钢筒内发生弧放电，

钢筒温度超标，高频机内部出现过热和过流，加速器出现过电压……等等，当上述

参数异常时将自动封闭高频。

（3）在加速器进入额定工作状态、束下装置运转正常之后，系统可以进入闭环

运行以自动稳定加速器的设定参数，并与束下系统的运行联动。例如当样品的移动

速度发生变化时，变化信息会立即输入加速器控制系统，实时调整电子枪的加热电

流，使加速器的输出束流与束下样品的传输速度变化同步，确保样品的辐照剂量均

匀。当束下暂停或换卷时，束流自动降低或置零……等等。

（4）加速器运行时在控制屏上显示的主要参数有：能量，流强，加速管分压电

流，高频振荡参数（电子管屏极电压和屏极电流），扫描磁铁电流，聚焦线圈电流，

导向线圈电流等。当发生故障时，控制屏上将立刻显示故障状态和发生故障的部位。

2.3.5 真空抽气系统

真空抽气系统参见图4。

真空抽气系统安装在主厅钢筒底座下面的四通管两侧，由FF160/620C型涡轮

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分子泵和SP-400型溅射离子泵机组组成。根据计算和实际运行经验，采用其中单

独任何一台泵，即可满足加速器满负荷工作的需要。为了满足部分用户的要求，多

装了一套机组备用。两台机组既可以同时工作也可以轮流工作。我们推荐先启动分

子泵机组，然后利用分子泵启动离子泵，待后者正常工作后，即可关闭分子泵机组。

真空测量采用B-A规数显式真空计，真空计可向控制台输出连锁信号，以实现

与真空度有关的连锁控制。

两个插板阀为真空操作的方便而设。当因某种需要（如更换钛箔）必须对系统

放大气时，可以关闭四通上方的插板阀，保持加速管真空状态。

2.3.6 SF6绝缘气体处理系统

绝缘气体处理系统的功能有二：1）加速器检修时回收气体，2）通过气体的循

环去除其中的水分和运行中因放电生成的有毒有害分解产物。

该系统的主要部件如下：

（1）储气筒,为加速器检修时储存SF6气体用。

（2）压缩机机组，由无油压缩机、干燥塔、过滤器及相应的管道部件组成，

用于将气体向加速器钢筒或向储气筒进行压缩。

（3）真空泵机组

由真空泵、油过滤器及相应的管道部件组成，用于对钢筒和储气筒抽气。

在加速器检修打开钢筒前，它必须把钢筒内的SF6抽尽并输送到压缩机的入口以便

压入储气筒；在加速器检修完毕灌气之前，它必须将钢筒内的空气抽尽，以保证SF6

的纯度。

上述各部件被紧凑地集成在一个带有控制面板的机箱中，整个系统采用电动执

行元件和程序控制，通过面板上的按钮操作，即可按规定自动完成相应的流程步骤，

避免误动作。

系统的细节请参见附件《CQ-0.6/30型六氟化硫气体处理系统使用说明与操作

规程》。

提示：

SF6的绝缘性能与其纯度和含水量有关。当气体湿度太大时，可导致钢筒内的

绝缘构件受潮而发生放电和击穿。加速器运行中的放电打火会使SF6分解生成SF4、

SOF2、SO2F2和HF等有毒和腐蚀性成分，它们对人体和加速器内部的某些零部件是

有害的。因此SF6气体需要定期进行循环处理，通过吸附塔去除其中积累的水分和

放电产物，这对延长加速器的使用寿命和提高其运行的可靠性是十分重要的。

钢筒和储气罐的生产加工均以GB150-89《钢制压力容器》为标准，焊接人员

均持有国家权威机构颁发的资格证书，焊接后做无损检测，做水压测试，由苏州技

术监督局检验监测出厂，均有按《压力容器安全技术监察规程》要求制作的合格证

明文件，包括监检证明文件。

工作条件

1．电源:3相、380V、50HZ

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2．配备50T冷却水塔

工作原理与组成

LSW-36S加速器冷却恒温装置是用于冷却恒温加速器工作时关键零部件温度的

专用设备。主要由2只水箱、3只压缩机、冷凝器、2只蒸发器、3台水泵、若干阀

门、管道、机架和控制系统组成。2只水箱均由一只压缩机、蒸发器和冷凝器制冷，

可分为低温水箱和常温水箱，低温水箱的制冷量是78KW，常温水箱的制冷量是

39KW；在低温水箱的回水管上安装有两只电磁阀，并分成两路，一路通低温水箱，

一路通常温水箱，如果常温水箱的制冷量不够，连接在低温水箱回水管上的电磁阀

关闭，连接常温水箱的电磁阀打开，将低温水箱回水导到常温水箱，中和水箱温度，

当温度达到要求后，连接低温水箱电磁阀打开，连接常温水箱电磁阀关闭，低温水

流回低温水箱，因为低温水箱和常温水箱是连通的，所以不会存在水位差。低温水

箱主要冷却加速器钢筒内部和高频机柜内部，常温水箱主要冷却高频机电子管和束

流吸收板；由于加速器钢筒温度要求较高，所以在该管路上安装有精密流量控制阀

门，根据加速器钢筒温度自动调节管道流量，从而能基本达到恒温效果；在每一个

回路的回水口处，均安装有流量控制器，当出现断水或水压不够时，流量控制器发

出报警信号，防止加速器在无水或欠压的情况下工作，造成加速器的顺坏。

技术参数

型号

制冷量

制冷剂

额定功率

压缩机功率

冻水流量

电源

不锈钢水泵

压缩机

冷凝器

蒸发器

外形尺寸

重量

2.3.9 辐射防护

（1）安全连锁

LSW-36S

117 Kw

R22

37.22Kw

32.82Kw

11m³

三相，380V，50Hz

2.2KW 2台

全密闭涡卷式

壳管式

水箱盘管式，蒸发温度0-15℃

1500*2700*2000

1200Kg

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为防止在加速器开机时发生辐射伤害事故，设置了多重安全连锁保护：① 加

速器厅和辐照厅大门设有开机联锁，门未关好加速器不能开机；② 加速器厅、辐

照厅及产品迷宫通道入口处设有光电保护装置和紧急停机按钮，可以避免误入或滞

留厅内的人员遭受照射；③ 所有入口通道外装有开机警告红灯。

（2）辐射防护标准

在最新发布的《GB 18871-2002电离辐射防护与辐射源安全基本标准》中，规

定了职业放射性工作人员年有效剂量为20mSv，无关公众人员为1 mSv。辐射防护

剂量安全标准的实施取决于防护设施与安全管理两个方面。

防护设施方面

（1） 土建设计

所有土建均根据《GB 18871-2002电离辐射防护与辐射源安全基本标准》标准

要求设计，并且充分考虑客户方的厂房情况及特殊要求等。

（2）安全连锁

为防止在加速器开机时发生辐射伤害事故，设置了多重安全连锁保护：① 加

速器厅和辐照厅大门设有开机联锁，门未关好加速器不能开机；② 加速器厅、辐

照厅及产品迷宫通道入口处设有光电保护装置和紧急停机按钮，可以避免误入或滞

留厅内的人员遭受照射；③ 所有入口通道外装有开机警告红灯。

安全管理方面强烈建议客户注意以下两点：

（1）工作场所剂量监测

在加速器实际运行过程中，要求对现场的剂量情况进行可靠和不间断的实时监

控：① 在加速器厅、辐照厅与辐照产品传输等三处通道入口处分别设置三个固定

的监测点，采用固定式剂量仪表进行实时测量。② 配备便携式辐射仪，用于对工

作场所其它地方作流动探测。

（2）个人剂量监测管理

所有有关工作人员都应佩戴个人剂量计，主管部门应对每人的个人剂量计进行记

录，严格管理，定期发放，定期回收。

2.4 Machine Dimension 机器尺寸

货物 部件

主机（2.5MeV）

储气钢筒

气体处理系统

电子加速器

高频机

水处理系统

控制柜

3.00

1.50

1.6

1

1

2

2.3×1.0×2.0

2.7×1.5×2.0

0.6×0.5×2.0

单件重量（吨） 数量 尺寸（米）长×宽×高

8.70

4.70

1.20

1

1

1

2.8×2.8×6.61

2.5×2.2×5.4

1.8×0.65×1.5

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三、安装

3.1 Safety Rules for Machine Movement 搬运安全事项

3.2 Lifting the Machine/Drawing 搬运方法(图)

3.3 Installation / Drawing 安装方法/图

3.4Installation and Leveling 安装及水平校正

把加速管支架安装在钢筒底座上，测量加速管支架上平面的水平，把水平仪放

置在加速管支架上，通过调节钢筒底座上支撑腿上的调节螺栓来调节水平，在调节

水平的过程中还需使用铅锤掉线对钢筒预埋件中心进行对中。

钢筒底座水平偏差：x <0.1mm y <0.1mm ；

钢筒底座与钢筒预埋件中心对准偏差：x <1mm y <1mm ；

先把托架柱安装在钢筒预埋件上，再根据装配图尺寸安装托架梁，把扫描盒吊

装到托架梁上，通过吊装在加速管支架中心上的铅锤掉线，调节托架柱上的调节螺

栓调节扫描盒，对准扫描盒的上下法兰中心。

扫描盒与钢筒底座中心对准偏差：上法兰 x<1mm y <1mm ；

下法兰 x<1mm y <1mm ；

安装插板阀、四通、直角弯管、电离规座、电离规、放气阀、漂移管（先将聚

焦线圈套入漂移管）、波纹管、分子泵、机械泵、低真空管件及离子泵

安装前先把所有的真空管件用丙酮清洗干净，用热风枪吹干，检查真空管件上

密封口是否完好无缺陷，密封件（银丝圈和无氧铜密封垫）均需用丙酮清洗，安装

时，应小心对准密封法兰面，拧螺栓应用力均匀，采用少拧多圈的原则，拧完了以

后，应采用塞尺检查法兰间隙是否均匀，安装全过程均需配戴真丝手套和口罩。

用丙酮擦洗加速管连接密封法兰口和密封件，安装时，应小心对准密封法兰面，

拧螺栓应用力均匀，采用少拧多圈的原则，拧完了以后，应采用塞尺检查法兰间隙

是否均匀，安装全过程均需配戴真丝手套和口罩。

与真空系统整体捡漏：检漏仪捡漏

10

9

下无渗漏现象；

；

风刀安装，先把风刀内部擦洗干净，然后把风刀安装在扫描盒上，根据现场情

况配作连接风管。

安装气动箱组件和束流挡板组件，根据现场情况配作连接束流挡板水管和气动

箱上的气管，安装完毕后用手推动束流挡板动作应轻松，调整气压大小，观察自动

动作的情况；

；

安装线圈时应小心，避免把线圈碰伤或刮损，扫描线圈安装应与芯管平直；

a、传动轴、发电机的安装

传动轴上所有的轴承座应在一直线上，同步带无上下串动现象；

测量电压输出：变频器频率，发电机电压, 变压器电压；

b、测量电阻安装

调整每个电阻的距离

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c、电晕环、球帽的安装

吊线测量电晕环的安装平整情况：误差 <1mm ；

d、检查所有的球隙是否符合要求；

e、检查钢筒引出线球隙和电阻值；

，高频铜管配做、连接

铜管与钢筒壁尺寸 >50mm ， 铜管与屏蔽电容板尺寸 >50mm ，

3.5 Power Supply Requirement 电源要求

3.5.1 加速器用电配置要求

序号

1

2

3

4

5

6

7

8

受电名称

控制台

高频机

气体回收系统

钛窗冷却风机

臭氧排风机

冷水机组

5吨行车

备用

负荷容量

10Kw

330Kw

10 Kw

7.5Kw

5.5 Kw

处

30 Kw

7.5 Kw

20Kw

各5Kw

加速器厅、辐照

9

10

电动防护门

照明及束下装置

~2Kw

厅进口 如为手动门则不需要

根据需要

从控制室配电柜供电

冷水机房

加速器厅

位 置

控制室

高频机房

加速器厅

加速器厅

风机房或烟囱

附 注

2.5MeV/40mA机型

只在处理气体时用

从控制室配电柜供电

从控制室配电柜供电

控制室、高频机房、加速器厅、辐照厅

实际耗电量为上述配置的一半左右。

,要求电压波动小于±5%，其中给控制台供电的10kW三相电源要求电压波动

小于±2%，视电源稳定情况考虑是否配备三相稳压电源。

，同时在控制室设电源柜一个，自动空气断路开关应带失压过载保护。

，各室地线间的连接不能借用建筑钢筋连接。

，防雷接地与地线系统分开。

●加速器厅照明度在250∽300勒克司左右。

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●辐照厅照明度在250勒克司左右。

●加速器厅、迷宫要有应急灯，其他适当部位也要有应急灯，以便在停电

时人员能安全疏散。

，各室接地铜排间不能借用建筑钢筋连接，要采取一点接地原则设计独立的地

线系统（可借用桩基）。

，辐照厅迷宫入口处上方均装有警示灯，信号线通向控制室，用以显示主机工

作与否。

，信号通向控制室。

3.6 Connect Power Source Wires 外部电源连结

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四 Operation 操作

4.1 Operator Position 操作位置

4.2 电控柜及控制界面说明

操作面板示意如下：

风机柜中装有主厅防护门，辐照厅防护门，排臭氧风机，吹风机控制电路，

其面板所对应的按钮均可在手动状态（即计算机控制系统关闭或出错）下操作。

因而保障了加速器系统更具一定的安全和可靠性。

仪表柜中包含加速器运行所必须的分子泵，真空计，扫描电源，导向聚焦电

源。考虑到加速器系统运行的特殊性，在设计时专门给仪表和计算机控制系统配

上单独供电的稳压电源。具体如下图所示：

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分子泵电源

（0－600Hz）

真空计

X,Y扫描电源

导向、聚焦

电源

溅射离子泵

控制电源

稳压电源

操作人员通过计算机控制柜来操控整个设备的运行和实时监控。它进行数据

采集，存储，运算以及辐照工艺配方的存储和调用。外形如下图：

计算机控制系统可以分为两个部分：即硬件和软件。

硬件

显示器

按钮仪表区

工控机

PLC控制器

I/O接口板

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人机界面在客户无特殊要求时主要采用17寸液晶显示器

控制器是控制系统的核心部分，它实时采集数据并控制整个加速器的各项功

能。我公司选用西门子300系列PLC加研华工控机组成，以CPU313C-2DP为处

理器并配上多路开关量和模拟量输入输出模块。模块均为接插式，利于扩展与维

护。模拟量输入输出信号的分辨率为12bit。

输入输出接口是采集和控制信号的中转部分。我公司采用自制电路板对开关

量输入输出信号进行隔离，对模拟量输入输出信号进行隔离与标准化。使得信号

源和被控部分与控制器主体在电路上不存在直接的联系，这样可以避免加速器运

行时因钢筒内部打火而影响控制器的正常工作。

软件

界面是操控控制器的实际应用程序。我公司在界面的制作亦选用西门子PROTOOL

软件为基础，在保证实现相关控制功能的基础上力求精简，美观且更加人性化。

系统启动是自动进入LOGIN画面如下：

用户登录 点击此按钮输入正确用户密码即可进入运行主界面

厂家登录 厂家调试人员点击此按钮输入正确密码即可进入厂家界面（厂家界面

不做具体介绍）

系统退出 点击此按钮输入即可退出加速器运行系统

点击“用户登录”或“厂家登录”按钮后弹出登录口令输入框：

主控界面

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1

7

4

2

8

5

3 9

6

从上图可以看出整个监控界面包含：操作按钮，状态指示，参数设定，数据显示，

界面切换按钮和流程图。

1：趋势图部分 这一部分包括能量和束流的设定，开闭环控制，实时采样及

其6～8分钟时间段的趋势图；

2：高频机部分 这部分主要指示高频机的工作状态。

3：水系统部分 这部分主要显示加速器运行时各支路冷却水连锁保护信号。

4：钢筒总体部分 这部分主要显示加速器主体部分的运行状态，各辅助设备

的正常运行与否，内部打火的监测，内部温度和六氟化硫气体压力的实时测控。

5：风冷系统部分 这部分主要显示风冷系统是否正常开启以满足加速器的运

行条件。

6：束下装置 这部分简要指示当前束下状态及运行时的实时跟踪速度。

7：操作按钮 操作人员只要根据界面提示按从上到下的顺序依次点机按钮，

待各部分都正常启动后才能开启高压，准备出束。其各部分之间的联锁保护关系

在程序中自动检测，若某部不能正常启动左侧对应指示灯将不能正常点亮（绿色

指示）。具体原因可点击“故障查询”按钮进入查询界面查看。

8：辅助参数设定 辅助参数主要有束流挡板自动关闭值和与辐照生产线换盘

时束流自动下降到该框内设定值。

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9：界面切换按钮 这部分是引导操作人员进入所需其他画面。根据不同客户

的需要，主要有“故障查询”，“警报停止”，“消息查询”，“管理画面”，“数据分

析”和“系统退出”六个切换开关。

故障查询：如有条件不满足不能正常开机或正常开机后异常停机，均可参照

主画面上各相应红色方块提示：

或点击“故障查询”按钮进入该画面查看相关故障内容。故障查询画面如下所

示：

根据故障内容主要分类为：高频机部分故障、钢筒故障、水系统故障、安全

联锁故障及其他故障。当有故障时对应故障内容变成红色且闪烁指示：

管理画面：管理人员（或厂家）在设备初次开机时或检修恢复后可进入管理

画面操作进行设备调试。若束下均由我公司配套，则在该画面中增加辐照工艺配

方项。

调试主要操作功能有：

1. 试起振 在初次安装时或检修恢复后测试用

2. 打束斑 初次出束或出束部分有部件更换后重新校准束斑用

3. 测试发电机 单独测试灯丝供电系统用

其余功能与主界面一致，具体画面如下图所示：

在辐照工艺配方项中：数据记录名根据实际用意可设定，参数设定项中有剂

量、系数和道数三种主要影响产品辐照剂量参数供设定并存储（也可根据客户要

求现场添加）。

消息查询： 进入该画面可具体查看近期故障和消息记录内容。

数据分析 在该画面中（管理人员级别或厂家才能查看）可查看近期加速器及

生产线辐照运行情况，方便加速器维护、生产工艺的分析及客户生产资料的保存

和跟踪。受计算机硬盘存储空间限制，加速器运行参数和生产工艺参数记录一般

可保存两个月左右。用户可根据实际使用需要定时更新。

查询时在报表右侧选择框内选择所要查询的记录内容，如下图所示：

在条件栏中选择要查询数据的起始时间，点击时即可弹出时间选择框如下：

警报停止 加速器故障时发出声光报警信号，操作人员可先点击此按钮消除报

警声音提示，然后进入故障界面查询具体故障内容。

系统退出 加速器运行完毕点击此按钮即可退出系统，运行时不宜使用。

4.3 Emergency Stop 紧急停止

在发生事故时使用控制柜左上方紧急停止按钮，紧急停止使给DD型电子

加速器供电的高频振荡器总电源紧急切断，能量和束流立急消失。紧急停止时，

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真空系统的供电、可编程控制器的供电、冷却水系统的供电、各冷却风机的供电、

安全组件的供电不切断空回路。

4.4 Operation Procedure

操作规程

4.4.1 真空系统操作规程

真空系统开机程序与注意事项

（1) 整个系统从大气开始抽气的步骤

① 两个插板阀全开→启动机械泵→开电磁阀，对系统抽气。切忌：阀门决不

可以在一边侧呈大气状态另一侧呈真空状态下开启。检查机械泵工作情

况，如声响是否正常、泵体发热程度等。

② 机械泵运转正常，系统真空度达到5Pa左右，判断系统无大漏，启动分子

泵（启动前开启冷却水，水流量4升/分，水压0.2MPa）。如噪声很大，泵

油变棕黑色、混沌时需停机处理。

③ 分子泵运行20分钟或再长一些时间后启动电离规。测量真空度。

④ 当系统真空度达到10

-5

Pa量级时，可启动离子泵。等离子泵正常工作后，

可单独使用离子泵来维持真空。（切忌：单独使用离子泵时，必须先关闭

四通与分子泵之间的插板阀，然后关分子泵，10分钟后停冷却水，关电

磁阀和机械泵。）

（2）加速器停机，系统保持低真空状态时启动真空系统时，步骤大体相同，但

需注意插板阀的状态，应在两侧气压相当的时候开启，避免前级的气体向加速管

方向倒灌。

真空系统关机程序

(1) 关闭插板阀，按需要隔离系统。

(2) 关分子泵。

(3) 10分钟后停冷却水，关电磁阀和机械泵。

真空连锁

加速器运行时，真空计必须处在工作状态，真空计将向主控制台提供控制信

号。当系统真空度低于5×10

-3

Pa时，加速器不能启动。运行过程中真空度差于

5×10

-3

Pa时，将封闭高频。

提示：

只有加速器打算长期停机或进行检修时，才关闭抽气系统。否则，真空系统

应该连续运行，使加速管内保持高真空。

在加速器束流系统的检修中，必要时可利用插板阀隔离，只单独对系统的某

一部分放入大气，而维持其它部分为真空状态，但检修完毕开启插板阀前，必须

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利用旁抽管道先使两面压力平衡，否则会损伤插板阀和分子泵。

当抽气长久达不到应有的真空度时，应使用氦检漏仪对系统检漏。此时可以

利用插板阀进行分隔，从下到上，有序进行。

4.4.2 SF6气体处理系统操作规程

请参看附件3：《CQ-0.6/30型六氟化硫气体处理系统使用说明和操作规程》。

4.4.3 计算机控制系统操作规程

开机

启动加速器控制系统之前，应确认开机的前提条件（如

（1） 开机准备

① 开启相关电源设备（X/Y扫描电源，导向电源，聚焦电源等）。

② 开启加速器控制柜上的计算机电源，打开PLC控制系统，用鼠标左键单

击计算机屏幕上的“监控”图标，进入PLC监控主程序。

（2） 开机顺序

PLC监控主界面右上方有11项开关量，从第1项开始由上而下依次启动，即

可实现加速器的正常开机顺序：

1）单击“开排臭氧风机”按钮。如果排臭氧风机正常开启，则指示灯变绿。

2）单击“开钛窗风机”按钮。如果钛窗风机正常开启，则指示灯变绿。

3）单击“关主厅门”按钮。如果主厅门正常关闭，则指示灯变绿。

4）单击“关辐照厅门”按钮。如果辐照厅门正常关闭，则指示灯变绿。

5）单击“开束流挡板”按钮。如果束流挡板正常开启，则指示灯变绿。（注：

束流挡板可设定为自动开关状态，当执行自动开关程序后，束流挡板将在加速器

输出束流大于“束流挡板自动开启设定值”时自动打开）。

6）单击“开柜内风机”按钮。如果柜内风机正常开启，则指示灯变绿。

7）单击“开灯丝电源”按钮。如果灯丝电源正常开启，则指示灯变绿。

8）单击“开钢筒风机”按钮。如果钢筒风机正常开启，则指示灯变绿。

9）单击“开高压电源”按钮。如果高压电源正常开启，则指示灯变绿。

注意，开高压电源必须在灯丝电源开启3分钟后操作，否则操作无效，请注

意屏幕提示，如下所示。

10）单击“高频解锁”按钮。如果高频解锁正常开启，指示灯变绿。可以开始

提升能量。

注意，高频解锁时“电子枪变频器”输出必须处于0电位。若“电子枪变频器”

没有关闭，将不能实现高频解锁。

11）当加速器能量值升至某一设定值后，单击“开电子枪变频器”按钮。如果

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变频器正常开启，指示灯变绿。加速器可以输出束流至设定值。

开机程序结束，加速器进入正常工作状态。

监控

监控界面图的中间部位是加速器运行参数的监控显示。包括“能量设定”、“能

量采样”、“束流设定”、“束流采样”， 以及“分压电流”、“扫描电流”、“导向电流”

和振荡管“阳极电压”、“阳极电流”等。除此之外，它还能显示加速器各控制部件

的开关状态，以及提示出现故障时相应故障部位等。屏幕上方，有能量趋势图和

束流趋势图，趋势图的显示长度为6～8分钟。

（1）主监控界面

① 主监控界面的右上方有11个开关量指示灯，依次往下为排臭氧风机、钛

窗风机、主厅门、辐照厅门、束流挡板、柜内风机、灯丝电源、钢筒风机、高压

电源、高频解锁，电子枪变频器。若它们被开启，则灯显示绿色，若被关闭，则

显示红色。加速器任何一个故障报警均可在界面中相应位置显示出来，一旦有故

障产生，就显示警报字符为红色闪烁，同时给出声音报警，按“警报停止”按钮后

声音报警即可消失，但屏幕上的故障信号需待故障排除后，才能消除。

② 主监控界面的右下方其它按钮的功能如下：

·单击“故障查询”，进入故障显示界面，故障界面里有高频机故障，安全保护

故障，钢筒故障，束下故障和其它故障。并在此界面的右下方有如下复位按钮：

“可控硅复位”，单击此按钮可控硅故障可自行复位恢复正常。

“变频器复位”， 单击此按钮一般变频器故障可自行复位恢复正常。

“打火复位”， 单击此按钮火花探测传感器故障可自行复位恢复正常。

·单击“警报停止”，可以解除因故障产生的报警声音。

·单击“消息查询”，进入消息查看界面。界面左面显示从程序启动起到当前时

间为止的消息。消息分为系统消息（最前面用“＄”表示）和报警消息（最前面用“！”

表示）。界面右下面有2个按钮。第一个是“删除消息”，单击它则所有消息被清除，

区域清空。第二个是“返回”，用于返回到监控界面。

·单击“系统退出”，返回登录界面。

（2） 故障警示

加速器只有在各部件工作状态正常的情况下才能运行，一旦某部件发生故障，

监控系统将立即封锁高频，屏幕上提示相应的故障部位红色闪烁，并给出声光报

警。若想取消报警声音，可单击“警报停止”按钮。根据发生故障的部位，加速器

控制系统立即切断该部件及与之相关部件的电源，被断开部件的指示灯变成红色。

当所有故障被排除后，屏幕上故障提示消失，才能重新开启加速器。

能量调节

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加速器的能量输出控制有“开环调节”和“闭环调节”两种方式，控制方式的选

择由位于控制系统主界面左上角的能量控制选择开关决定。注意！能量控制方式

的改变必须在高频封锁后进行。

（1）能量的开环调节

当能量控制选择开关选择“开环”控制时，在系统主界面屏幕上方的能量设定

值方框中输入所要求的能量值，按“回车”键，再单击能量“确认”按钮，则加速器

的能量当前值中显示的能量数值即慢慢地改变，由于是开环控制，能量设定值与

能量当前值间会有较大的差异。加速器能量设定值的改变还可以通过其设定值旁

边的“增”按钮或“减”按钮来进行，每按一次该按钮，能量设定值就增加或减少

0.05MeV，同样需要单击能量“确认”键后，加速器才改变其输出值。在加速器改变

输出能量的过程中，若按“暂停”键，能量改变立即停止，并保持当前值不变，再

按一次“暂停”按钮，能量继续改变直至新的设定值。能量输出设定值的范围为0～

3.3 MeV，超出此范围的能量设定值，控制系统不予执行，维持原值不变。

（2）能量的闭环控制

当能量控制选择开关选择“闭环”控制时，加速器的能量输出值会自动稳定在

能量设定值附近，能量输出稳定度为±1%，重新输入能量设定值后，单击其“确认”

按钮，加速器即慢慢地改变能量输出值，并稳定在新的能量设定值附近。在加速

器改变输出能量的过程中，若按“暂停”键，能量改变立即停止，并保持当前值不

变，再按一次“暂停”按钮，能量改变继续，直至新的设定值。能量输出设定值的

上限为3.30 MeV，超出此范围的能量设定值，控制系统不执行，维持原设定值不

变。

（3）主扫描峰值电流随输出能量的自动跟踪

根据加速器的工作要求，主扫描（X扫描）电流的大小将自动跟踪，使之与

输出能量的高低相适应，以获得扫描窗的最大利用率，同时保证扫描宽度不论输

出能量多大均维持不变。

（4）加速器输出束流前的高压锻炼

根据加速器的操作规程，在加速器输出束流之前必须先进行1.1倍额定高压的

空载锻炼，亦即如果需要在1.5 MeV的能量下输出束流，则必须先将加速器在空

载情况下将高压锻炼到1.65MeV (1.5×1.1)以后，再退回至1.5 MeV出束。本加速

器的最大出束能量为1.5 MeV，即加速器的空载锻炼值最大应达到1.65 MeV。

束流调节

加速器束流大小的调节是由电子枪变频器带动发电机来实现的，调节束流是

通过调节变频器的工作频率，亦即调节输入到变频器的模拟电压来调节的。不同

的输出束流大小与变频器的工作频率亦即输入的模拟电压的大小相对应。

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加速器的束流调节有“内控”和“外控”两种工作模式，工作模式的选择在束下

控制系统的操作界面上确认。

（1）束流内控的自动操作

加速器默认出束方式为“束流内控”，此时，加速器输出束流的大小由束流设

定值决定，控制系统自动稳定加速器束流输出在设定值附近，束流稳定度为3%，

束流稳定是通过PID调节方式实施的。加速器输出束流设定值的范围为0～50mA，

超出此范围的束流输入设定值，控制系统不执行，并给出相应提示。在输出束流

改变的过程中，若单击“暂停”按钮，加速器束流改变立即停止，再按一次“暂停”

按钮，则改变继续；当“暂停”有效时，加速器束流输出的稳定调节功能也将被停

止。

（2）束流外控操作

加速器的“束流外控”是由束下传输系统操控的，当束下系统给出外控请求后，

加速器输出束流的大小即由束下传输系统操控，同时，该设定值也被显示在主控

屏幕中。在加速器升/降束流至外控设定值的过程中，按束流“暂停”键也可实现加

速器的输出束流暂停功能。

关机过程

加速器的关机操作是开机的逆过程，关机操作步骤如下：

（1）降束流至零

在“束流内控”模式下，只需将束流设定值置零，按“确认”键，加速器输出束

流即开始下降，直至束流采样小于1mA时，即可关闭电子枪变频器。

在“束流外控”模式下，同样只需要将束流外控输入置零，加速器输出束流即

开始下降，直至束流采样小于1mA时，可关闭电子枪变频器。

（2）降能量至零

在主控界面的能量设定值中输入零，按“确认”按钮，能量即开始下降至零。

（3）关机操作

在PLC监控主界面上，由下而上依次单击10个开关量按钮，即可完成关机

操作。

1） 单击“高频封锁”按钮。如果高频正常封锁，则指示灯为红色。

2） 单击“关高压电源”按钮。如果高压电源正常关闭，则指示灯为红色。

3） 钢筒风机在高压电源关闭后15分钟内，点击按钮不起作用。钢筒风机

15分钟后自动关闭，指示灯为红色。

4） 单击“关灯丝电源”按钮。如果灯丝电源正常关闭，则指示灯为红色。

5） “柜内风机”在灯丝电源关闭15分钟后自动关闭，在这期间按钮不起作

用。如果柜内风机15分钟后正常关闭，则指示灯为红色。

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6） 单击“关束流挡板”按钮。如果挡板正常关闭，则指示灯为红色。自动情

况下束流挡板已经自动关闭。

7） 如果需要进入辐照厅，单击“开辐照厅门”按钮。如果辐照厅门已正常开

到位，则指示灯为红色。

8） 如果需要进入加速器厅，单击“开主厅门”按钮。如果主厅门正常开到位，

则指示灯为红色。

9） 单击“关钛窗风机”按钮。如果钛窗风机正常关闭，则指示灯为红色。

10） 单击“关臭氧风机”按钮。如果臭氧风机正常关闭，则指示灯为红色。

以上7～10可以单独操作。

“钢筒风机”和“柜内风机”关闭后（指示灯为红色），关机操作即已完成，可按

“退出系统”返回到WINDOWS系统。

4.4.4 安全操作规程

放射性辐射的安全

（1）加速器开机前的安全检查：

① 所有的安全连锁系统、警告灯和剂量仪表是否正常；

② 加速器大厅及辐照大厅是否有人，确认无人后封闭通道；

③ 所有进入工作场所人员，是否佩戴个人剂量计；

（2）加速器开机达到预定参数后，应观察各点剂量读数是否正常，包括定期用

便携式剂量仪作巡回检测；

（3）在加速器调试时，只要加速器升高压，即使在无束流状态下，辐照厅门也

必须关闭，不容许有人进入。

（4）加速器正常运行时，严禁人员进入加速器大厅和辐照厅。

重要提示：

在加速器高压调试时，即使不引束，在辐照厅、特别是扫描盒附

近，也可能有强烈的辐射，这是由加速管内的冷电子发射经高压加速

而形成的。特别注意不能靠近钛窗下面，这里可能有高能杂散电子从

钛窗射出，当皮肤、眼睛等人体器官被电子照射后，将导致严重的射

线灼伤。

高频与高电压安全

（1）当工作人员对高频振荡器进行检修时，必须确认高压已经断开（通常

主断路器应断开）；必须进行带电测试时，应采取可靠的安全措施。

（2）高频机运行时，柜门应可靠密闭，防止高频泄漏对人身的伤害。

臭氧与SF

6

气体安全

（1）加速器启动前，应确认通风系统己经正常工作，避免臭氧对人体和设

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备的危害。

（2）定期检测空气中的SF

6

含量，注意有无SF

6

的泄漏。

（3）加速器长期运行后开筒检修时，要注意开筒后残余SF6气体中的放电有害

物质对人体的伤害。开筒后通常主厅应排气一段时间后进人。如感到厅内仍有明

显刺激性气味，要延长排气时间。

五、Maintenance 维修保养

5.1 日常维护

做好日常维护可以使加速器常年保持最佳工作状态，降低故障率，延长使用

寿命。

（1）运行注意

① 设备发生异常事件时应做好记录，记录应足够详细，包括时间、事件状况

描述、应急处理过程等，以备后续的分析、讨论和采取措施之用；

② 加速器常规运行中，应关注控制系统采集的各种运行参数，判断其是否处

于正常工作状态；对主厅和辐照厅以外的设备，还应定期巡回检查其运转状态，

特别是：高频机和冷却水系统的工作状态；

③ 不允许随意断开连锁；

④ 定期检查辐射安全的检测仪器与安全连锁是否正常。

（2）停机检查

应利用每次正常停机的间歇对设备进行观察和检查（注意：进入辐照厅时须

确认加速器端电压为0，室内已足够换气，无射线和臭氧存在）

① 检查扫描磁铁上下法兰及扫描盒外表面有无异常的发热；

② 检查钛窗表面的电子束扫描痕迹是否正常（长度和走向），特别注意有否

异常的色斑（异常色斑通常反映钛箔内部或外部粘有脏物，可造成钛箔局部过热

突然破损）；

③ 检查钛窗风机的运转和钛窗冷却风量是否正常；

④ 检查各冷却水管是否有漏；

⑤ 从运转状态和声响判断真空抽气系统是否正常。

5.2 设备检修

5.2.1 加速器主体机械维修

该型加速器筒体部分由上钢筒、中钢筒、钢筒底座三部分组成。主体安装采

用垂直安装方式：上钢筒内安装冷阱，中钢筒内安装高频变压器、屏蔽电容板组

件和高频电极板组件；整流倍压芯柱自成一体固定在钢筒底座上可以整体吊装。

整个加速器钢筒有两层密封面。上钢筒与中钢筒为第一层；中钢筒与钢筒底

座为第二层。仅检修冷阱或高频变压器时只需打开第一层；仅检修整流倍压芯柱

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时只需打开第二层。

（1）钢筒的打开和闭合

打开钢筒的步骤如下：

① 将钢筒内SF

6

气体抽真空至-0.1MPa左右，然后经由空气过滤器对钢筒

放大气至0 MPa。

② 水泵停机或关闭冷阱进水阀门，拆下冷阱的进出水管。

③ 拆下钢筒1

＃

（冷阱风机电源箱）、2

＃

（阳极电缆接线箱）、3

＃

（正反馈电

缆接线箱）配电箱上的所有连接线。

④ 用钢筒螺栓专用扳手拧下钢筒连接处的所有螺栓。

⑤ 用行车缓慢地吊起钢筒，起吊时应十分仔细，确保钢筒平衡地垂直上升。

⑥ 将钢筒吊放在厅内预留的空位，用三根配给的支撑底脚在中钢筒下法兰

三等分处用螺栓将钢筒固定在支撑底脚上。

闭合钢筒的步骤，为打开钢筒的逆过程。但需注意的是，必须先将钢筒内抽

真空至-0.1MPa左右后，才能向钢筒内灌入SF

6

气体。

（2）冷阱的维护和检修

① 冷阱使用一定时间（一般为一年）后，由于水质及气体清洁度影响，会使

水管内外表面产生一定的污垢，影响传热效果，因此必须进行清洗除垢工作。

② 为防止风扇振动影响，应检查所有连接件有无松动、脱落的现象。

③ 清洗后，在使用前必须检查焊口，进行水压试验，试验合格才可使用。

（3）其它

① 安装维修中应注意清洁，严禁将垃圾、灰尘、油污等带入主体各部件。

② 对半电晕环、高压电极等拆装时应小心轻放，严禁擦伤抛光面，防止受力

变形，绝缘柱（由前后两块绝缘板与拉杆组成）的强度比较脆弱，在吊装、搬运

时要注意受力方向，确保安全。

③ 发电机传动系统中的绝缘轴应妥善处理，防止划伤和碰断。

5.2.2 高频变压器维修

（1）例行检查与处理

加速器维持正常状态，每隔一定时间（如一年左右），应主动对高频变压器做

一次全面的检查：

① 检查所有球隙的打火情况，打火损伤严重者应抛光清洗重装；检查所有球

隙的固定是否牢靠，尺寸有无变化，必要时应重新调整。

② 检查所有线圈、屏蔽、接点，发现碳化打火痕迹，轻微的可用细砂纸仔细

抛光。导线接头被烧伤的线圈盘应予更换。

③ 检查线圈上或线圈周围有无潮气迹象。如果发现潮气迹象应检查钢筒水冷

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回路有无泄漏。

④ 检查线圈本身及其周围是否有油污、灰尘或任何游离物。如发现应彻底清

洗。污染严重的线圈需更换。检查冷却马达转轴的密封。

⑤ 检查所有硬件和线圈的连接，确保坚固可靠。

⑥ 全面检查整个组件，确认整体完好。

（2）大修

当高频变压器因故损坏，无法按常规维修措施加以修复时，请与公司联系派

人解决。

5.2.3 高压硅堆维修

（1）例行检查与处理

当加速器打开钢筒时，应对硅堆进行一次例行检查。

① 每次打开钢筒后，凭手感检查所有螺钉连接点和球隙等机械固定是否牢

固，必要时用塞规检查各球隙的距离，如有变化应调整之。

② 用摇表检查整个硅堆的正反向电阻，与原始值对照并做好记录。若发现数

据不对需检查原因。如果确认硅堆已经损坏则应更新。

（2）检查硅堆链上下两端的电抗线圈

目测外表无击穿现象，用万用表测量线圈的电阻值正常即可

5.2.4 电子枪维修

当灯丝烧断，寿命将尽其发射小到不能引出足够的电子束流时，则应更换，

具体步骤如下：

（1）拆卸电子枪

提示：当加速器无法引出束流时，故障往往不一定在电子枪本身，只有经过

认真检查分析，排除其他可能的故障后（如电子枪供电系统故障等），才动手对系

统放气拆卸电子枪。

拆卸电子枪的步骤如下：

① 按，打开钢筒，露出加速器倍压整流芯柱，卸去高压球帽，暴露电子枪部

位。

② 检查灯丝供电系统，确认故障在电子枪本身后，对加速管内充入干燥N2

气至0 MPa。

③ 拆去灯丝变压器与电子枪之间的连线、散热片和顶板（即高压球帽底座）。

④ 松开电子枪压板8只螺钉，取下枪体和电子枪罩壳，立即盖好加速管，以

防异物落入。

（2）更换灯丝

主要工具：镊子、螺丝刀、定位块、绸布等，各用具均用丙酮或酒精清洗，

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热风吹干，操作时应戴真丝或尼龙手套。

① 观察电子枪整体状况，确定需要检修或更换的部件（如灯丝、栅极等）；

② 卸下栅极固定螺钉，拆除栅极；

③ 松开灯丝压板螺钉，取下旧灯丝；

④ 将拆卸的电子枪零部件进行必要的更新后，清洗备用；

⑤ 安装新灯丝

（备用灯丝已经退火处理，如果保存完好可直接安装，若被污染，需用丙酮

或酒精清洗，热风吹干）。

·第1步安装栅极，保证其同心度；

·第2步安装灯丝：将灯丝两脚嵌入灯丝杆槽中，用压板轻压，用定位块确

保灯丝与栅极平面的距离为0.65mm（灯丝发射面应与栅极平面平行），然后压紧

压板。注意！安装过程中应避免灯丝受到机械应力；

⑥ 将检修装配好的电子枪重新安装到位：更换新的密封银圈，装好电子枪罩

壳、枪体及压板，抽真空，检漏。

⑦ 安装散热片和供电连接线，重新调整保护球隙；

⑧ 电子枪去气：在加速管真空达到要求后，保持系统的真空度不低于10

－

5

Pa

量级，对灯丝逐步加热放气，直到系统的真空度不再随加热电流的增加而明显变

化时，去气完成。（注意! 去气过程要缓慢，要绝对避免加热电流超过电子枪的最

大使用电流）。

提示：不宜在加速器检修现场进行灯丝更换操作。当确认电子枪损坏后，建

议整体更换一个完好的备用电子枪。拆卸下来的电子枪另行检修备用。

5.2.5 加速管维修

（1）例行检查与处理

吊起压力钢筒后，卸去正对加速管分压电阻一侧的半电晕环，对加速管按以

下步骤检查：

① 用2500V摇表测量每串均压电阻值，并做好记录；

② 检查每串均压电阻的接头是否牢固，是否有放电痕迹，电阻有无损坏；

发现问题进行整修，损坏的要更换；

③ 检查每只球隙的机械固定是否牢固；必要时用塞规检查每个球隙是否正

确。如有不符，需进行调整；

④ 检查加速管的绝缘环有否打火痕迹，并作记录；

⑤ 检查加速管与倍压系统之间的连接是否完好牢固，连接电阻有无损坏；

与电阻并联的球隙机械固定是否牢固，球隙值是否正确；必要时应作调整与更换；

注意！操作时带真丝或尼龙手套，不要污染加速管的绝缘环。

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（2）加速管的拆卸和安装

经检查分析，确认加速管已经损坏不能正常工作，才将其拆下进行检修。拆

装步骤如下：

① 拆卸加速管的步骤

·取下高压半球，拆除电子枪和加速管与顶板及整流柱其他部分之间的所有

连接导线，取下顶板；

·适当拧紧加速管上下4根绝缘拉杆端部的螺帽；

·对加速管内充入干燥N2气至0 MPa，然后拆卸电子枪，并立即用盲板盖住

加速管上部端口，以防污染和异物落入加速管内；

·拆卸加速管与加速管支座之间的固定螺栓；

·用吊车小心地吊起加速管，加速管吊起10-20CM后需用盲板分别盖住加速

管下部端口和加速管支座端口。在吊起过程中要严防加速管和其它部件相碰。

② 加速管组件的解体与重新安装

注意！加速管组件的解体必须在非常干净的房间进行。

·加速管组件和其它零部件从加速管中拆卸时必须保护好法兰密封面不受机

械损伤和污染。

·工艺段内电极的折装、清洗和工艺段内部的清洗规程需根据污染的具体状

况决定，内电极的拆装需防止电极片的机械擦伤。

·加速管组件的重新安装必须根据加速管总装图上规定的要求进行。

·加速管组件在重新安装过程中必须分步进行真空检漏。

③ 加速管重新安装的步骤

·加速管在搬运过程中必须用盲板盖住其上下端口。

·加速管在安装之前可以先装上电子枪。

·用吊车将加速管吊到加速管支座上。在距支座10-20cm时拆去下部盲板和

支座上的盲板，放上密封圈，然后小心缓慢地对准法兰的密封口就位，再拧紧法

兰固紧螺栓；吊装过程中要严防加速管与其他部件相碰。

·抽真空，检漏；

·装上顶板。

·连接电子枪和加速管上的所有连接导线，重新加固并校准放所有放电球隙。

·装上高压半球。

提示：加速管组件的解体和与组装，技术要求较高，须由公司派专门技术人

员参与，并由公司在技术上负责。

5.2.6 钛窗更换

（1）钛箔的拆装

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钛箔为易损更换件，在加速器正常满负荷工作情况下约半年更换一次。更换

步骤如下 ：

·拆下鼓风吹管，移开束挡板；

·拆下所有钛窗压板，卸下密封框、旧钛箔及密封铝丝；

·清洗新钛箔，注意表面不得有划痕、折痕或其他缺陷；

·清洗密封框，将清洗好的钛箔用真空硅脂粘在密封框上，（注意：油脂要均

匀涂抹在密封框上，不得溢出密封框）；

·清洗法兰面，将密封丝按需要长度纹接后张紧在四只弹簧定位柱上，并使其

尽量平直；

·把粘好钛箔的密封框用四个小螺钉安装在扫描盒的下部法兰上；

·装上全部压板，先不加力。待所有压板就位后，再用扭力扳手逐步加力，加

力要均匀，要从扫描盒中心线向外逐步将所有螺栓上紧；

·加力完成后，用氦质谱检漏仪检漏。如发现有漏，可适当局部加力；

·操作过程中要注意保护钛窗，不要划伤，并注意清洁；

·完成操作后钛箔外表面要再清洗一次；

·恢复鼓风吹管原来位置；恢复束挡板机构。

（2）钛箔清洗工艺

·用清洁软布覆在平滑的桌面上；

·平坦放下钛箔，不能皱折或折叠；

·戴上真丝或尼龙手套，用一只手压在箔的一头，另一只手用沾有丙酮的绸布，

按一个方向轻摩擦拭钛箔表面，直到全部表面清洁为止；

·小心翻转钛箔，避免皱折，以同样方法擦拭清洁另一面。

提示：

钛窗的平时维护十分重要，要及时发现可能被污染而出现的热斑及其他意外

损伤，以防止因局部过热而发生突然破损；

钛窗有一定的正常使用寿命，应该记录钛窗的使用时间，在寿命终结之前主

动更换钛窗，可降低发生突然爆破事故的可能性；突然爆破的后果可能是很严重

的，例如严重污染甚至损坏加速管和真空泵。

5.2.7 真空系统的拆装与清洗

电子枪、加速管、钛窗、束流元件以及真空抽气系统等的检修都涉及到真空

部件的装拆和清洗，以下是一些一般的提示。

注意！拆卸真空系统之前，必须对系统放大气，在没有肯定内部处于大气压

状态前，决不要拆卸任何部件。

（1）真空系统和部件的拆卸

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① 拆卸前准备：

·准备一个安放或保存拆下零件的处所，如足够大的清洁平台或容器；

·准备专用盲板，以便拆开的真空部件可以用盲板将其封闭，避免受到外界

的污染。如果开启时间很短，也可用清洁的铝箔或塑料膜代替。

② 拆卸前对相关的真空系统放入干燥N2气或空气；

③ 拆下的零部件需用洁净（不起毛）的包装纸包装。暂时不用需长期存放的，

应置真空干燥箱内保存；

④ 特别注意，在拆卸和搬运时防止密封表面的损伤，不要用任何金属或其他

硬质工具去撬动密封环。

（2）真空系统和部件的安装

注意！安装真空系统时必须遵守相应的真空卫生规范。

① 所有待安装的零部件应确保清洁；

② 身体任何部分都不允许接触真空系统内部及其零部件表面，应带上真丝或

尼龙手套，用经过清洁处理的工具进行操作；

③ 防止损伤密封表面及密封刀口；

④ 刀口密封或丝密封的密封件的尺寸应符合标准，安放正确，紧固件的受力

应均匀对称，紧固后还应留有一定的压缩余量。

⑤ 一时不能封闭的管口，要用盲板封上，安装完成后应进行真空检漏。

（3）真空部件的清洗

以下是真空清洗时应该注意之要点：

① 从加工车间取来的零部件沾有大量油污，必须先用工业去油洗涤剂清洗，

然后用自来水将洗涤剂的残余冲尽，最后用去离子水冲洗干净后，用无水酒精脱

水，热风吹干（或烘干）；

② 已经使用过的零部件如果污染不严重，可以用分析纯的有机溶剂清洗，如

丙酮、无水酒精等，溶剂的质量必须保证，否则反而可能被溶剂中的杂质污染，

特别是加速管和电子枪等关键部件。

③ 足够小的零部件的清洗建议在超声波清洗机里进行，可以提高清洗的质量

和效率；

④ 使用丙酮、酒精等溶剂时必须注意这些溶剂对某些有机材料的溶解作用，

它们通常只适合金属件的清洗；此外，有机溶剂还会伤及人体皮肤，因此操作时

要使用工具，或带合适的防护手套。

5.3 Trouble Shooting 故障排除

在加速器的操作过程中，可能出现的故障有：

a) 检查束流挡板的“气阀”是否打开、气压是否合适。

b) 若束流挡板一直开着或关着，则应检查气动装置以及限位开关是

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a)

b)

c)

a)

b)

c)

d)

e)

a)

b)

c)

否卡住，检查中间继电器是否动作正常。

在开机后第一次单击此控制部件的按钮时，如果能在控制柜听见

有继电器的开关声音，说明故障在控制柜以外，应检查输出连线

及相关器件，否则须由专人检修。

应首先检查“电子枪变频器故障”是否显示在屏幕上，再检查束下

装置是否正常，或者是否有其它故障提示。

成功解锁后，输入能量设定值，按“确认”键，如果加速器能量输出

不变，应检查输入设定指示是否正常，集成芯片是否损坏，可测

量相关点的电压作出判断。

振荡回路没有正常起振。

能量测量回路故障。

应先检查用于束流控制的电子枪变频器电路是否工作，如果电路

工作正常，说明故障不在控制系统，应检查电子枪等其他部分

电子枪变频器故障

传输系统故障

电子枪供电系统故障。

电子枪灯丝使用寿命到。

应检查扫描电源是否为“外控”工作模式，再判断扫描电源在“内控”

工作模式下，扫描输出电流是否能随电位器的调节在输出范围内

改变，若“内控”模式下正常，则应检查连接导线是否断开，可测量

相关点的电压加以判断。

能量锻炼过程中出现真空破坏，但是能很快恢复的，属于加速管

内部锻炼打火，恢复后能正常使用。

钛箔长时间使用后局部发热受损，导致真空泄漏。

检查高、低真空中各抽真空设备工作有否异常。

六、Electric 电气安全

6.1 Safety Rules For Electrical Control System 电控系统安全规则

·冷却系统风、水工作正常

·加速器厅与辐照厅送排风启动

·加速器厅与辐照厅防护门关闭

·高频机柜门关闭

·钢筒温度、高频机柜温度和振荡管冷却水温度达标

·真空度好于7.5×10Pa

，如：钢筒内发生弧放电，钢筒温度超标，高频机内部出现过热和过流，

加速器出现过电压……等等，当上述参数异常时将自动封闭高频。

，系统可以进入闭环运行以自动稳定加速器的设定参数，并与束下系统的

运行联动。例如当样品的移动速度发生变化时，变化信息会立即输入

加速器控制系统，实时调整电子枪的加热电流，使加速器的输出束流

与束下样品的传输速度变化同步，确保样品的辐照剂量均匀。当束下

暂停或换卷时，束流自动降低或置零……等等。

-5

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，流强，加速管分压电流，高频振荡参数（电子管屏极电压和屏极电流），

扫描磁铁电流，聚焦线圈电流，导向线圈电流等。当发生故障时，控

制屏上将立刻显示故障状态和发生故障的部位。

6.2电路原理及电路图

DD型加速器是一种高频高压型（即地那米型）加速器，具有束功大，运行可

靠的特点。加速器主体由直流高压发生器、电子束加速系统、扫描引出系统组成；

辅机包括计算机控制系统、真空系统、SF

6

气体处理系统、冷却水系统等。

加速器的直流高压发生器采用高频并激倍加电路，它是由Schenkel倍加线路

发展而来，其原理见图1。 A1和A2是中心点接地的交流电源E=E

0

sin2π

f

t的两

根输出总线，D1至Dn为整流二极管，Cac为并联在每节整流二极管上的电容，Cse

为A1和A2至二极管两端的电容，Z为负载，L为交流电抗器。电路工作时， A1

和A2通过Cse对所有二极管电路并联充电，在每个Cac上获得直流电压△V

0

，从

而在二极管链的端部获得n△V

0

的高压。解电路方程，可得下列公式：

当电路空载时，每个二极管上的空载直流电压△V

0

为

△V

0

＝E

0

/k (1)

n级二极管链的端部空载直流高压V

0

为

V

0

=n△V

0

=nE

0

/k (2)

其中 k=1＋(4Cac/Cse) (3)

当电路输出电流I时，则每个二极管上的有载直流电压△V降为

△V＝△V

0

－(I/k

f

Cse） (4)

n级二极管链的端部有载直流高压V为

V＝n△V＝nE

0

/k－(nI/k

f

Cse） (5)

Schenkel电路自上世纪初问世后，因为靠近高压端的Cse要经受n△V的高

压，在工程上难以实现，一直没有得到实际应用。直到上世纪六十年代，美国辐

射动力公司从高气压型静电加速器的几何结构受到启发，发现当交流电源的频率

升高到100kc左右时，电路中的Cse和Cac变得和静电加速器主体结构的分布电

容差不多，因而发明了地那米加速器，Schenkel电路才获得实用。地那米加速器

的高压倍加电路见图2，它在原理上与图1是一样的， A1和A2变为两块半弧形

电极板，Cse为高频电极与耦合电极之间的分布电容， Cac为硅堆本身及与其并

联的分布电容，Z为电子束加速系统。整个电路（图2虚线包围部分）置于高气压

钢筒之内，高气压介质既对高频高压也对直流高压提供绝缘。式（1）～（5）也

完全适用于地那米加速器的电路计算。

图1 Schenkel电压倍加线路

图2 地那米加速器的高压倍加原理图

地那米加速器所采用的这种并激倍加电路，电能直接取自电网，因此束功可

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以做得很大，是静电加速器所无法比拟的；另一方面，它又采用了静电加速器的

基本几何结构，具有储能小、不怕击穿打火的优点，运行可靠性大大提高。与另

一种采用串激倍加电路的加速器（即考克洛夫特－瓦尔顿型）相比，地那米加速

器除了储能很小外，还有一个优点是其端电压与n的一次方成正比，且输出纹波与

n无关，原则上提高端电压没有困难。（考克洛夫特－瓦尔顿型加速器随n 的增加，

其端电压要下降一个△，输出的纹波δ也相应增大，△和δ分别与n的3次方和n的

2次方成正比，因此提高端电压会受到n的限制）。

6.3 备品备件清单

高频电源部分

序号

1

2

3

4

5

6

7

8

9

10

11

12

13

14

15

16

17

18

19

20

21

电子管

触发板

高频分压电容器

栅偏电容

高压滤波电容器

隔直流电容器

高频电感

栅极扼流圈

小电感

风冷可控硅

灯丝变压器

电抗器

高频变压器线饼

阳极电缆

整流硅堆

电子枪

灯丝

加速管

分压电阻

测量电阻

聚氨脂同步带

名称 单位

只

块

只

只

只

只

只

只

只

套

只

只

只

米

组

套

根

段

串

只

根

单价（元）

32000

4500

1400

1400

3200

3500

1800

500

40

1500

23000

25000

1200

320

10000

20000

3000

50000

40

40

40

备注

10KV

3KV/5KV

2uf

17.5KV

610mH

倍压柱部分

THT-3M 长480 宽20

真空系统及扫描引出系统

22

23

钛箔

扫描电源

X扫描主板

Y扫描主板

张

台

400

300

32000

1800

1800

扫描宽度1400-1600mm

扫描宽度1000-1200mm

板号：XSM

板号：YSM

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信号板

信号板

信号板

信号板

24

25

26

27

28

29

30

31

32

33

聚焦/导向电源

电离规管ZJ12

波纹管组件

芯管组件

开关量输入信号隔离

开关量输出信号隔离

600

600

600

600

3500

只

套

套

700

6000

20000

450

450

450

450

450

450

板号：ZD

板号：CF

板号：XH

板号：BH

含无氧铜垫

控制系统

板号：DI

板号：DO

板号：AIO-1

板号：AIO-2

板号：ENERGY

板号：SPARK

导向，聚焦，X扫描，Y

扫描信号采样隔离

阳压，阳流，能量，束流，

管流信号采样隔离

高频机触发板调节控制

光电倍增管检测信号转换

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