2024年4月11日发(作者：)
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镀膜真空术语全集（中英文对照）
5.分压真空计（分压分析器）
5-1.射频质谱仪radio frequency mass spectrometer：
5-2.四极质谱仪（四级滤质器）quadrupole mass spectrometer；quadrupole mass fi
ler：
5-3.单极质谱仪momopole mass spectrometer：
5-4.双聚焦质谱仪double focusing mass spectrometer：
5-5.磁偏转质谱仪magnetic deflection mass spectrometer：
5-6.余摆线聚焦质谱仪trochoidal focusing mass spectrometer：
5-7.回旋质谱仪omegatron mass spectrometer：
5-8.飞行时间质谱仪time of flight mass spectrometer：
6.真空计校准
6-1.标准真空计reference gauges：
6-2.校准系统system of calibration：
6-3.校准系数K calibration coefficient：
6-4.压缩计法meleod gauge method：
6-5.膨胀法expansion method：
6-6.流导法flow method：
4. 1.真空系统vacuum system
1-1.真空机组pump system：
1-2.有油真空机组pump system used oil ：
-可编辑修改-
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1-3.无油真空机组oil free pump system
1-4.连续处理真空 设备 continuous treatment vacuum plant：
1-5.闸门式真空系统vacuum system with an air-lock：
1-6.压差真空系统differentially pumped vacuum system：
1-7.进气系统gas admittance system：
2.真空系统特性参量
2-1.抽气装置的抽速volume flow rate of a pumping unit ：
2-2.抽气装置的抽气量throughput of a pumping unit ：
2-3.真空系统的放气速率degassing(outgassing) throughput of a vacuum system：
2-4.真空系统的漏气速率leak throughput of a vacuum system：
2-5.真空容器的升压速率rate of pressure rise of a vacuum chamber：
2-6.极限压力ultimate pressure：
2-7.残余压力residual pressure：
2-8.残余气体谱residual gas spectrum：
2-9.基础压力base pressure：
2-10.工作压力working pressure：
2-11.粗抽时间roughing time：
2-12.抽气时间pump-down time：
2-13.真空系统时间常数time constant of a vacuum system：
2-14.真空系统进气时间venting time：
-可编辑修改-
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