2024年5月14日发(作者：3d打印机品牌排行)
fmm掩模板参数指标
FMM（Fine Metal Mask）掩模板是用于OLED蒸镀工艺中的
重要设备，其参数指标对蒸镀效果和OLED器件的性能有重要影
响。以下是一些关键的FMM掩模板参数指标：
1. 开口率（Opening Ratio）：开口率定义为FMM上孔洞的
面积与整个FMM面积的比值。高的开口率可以提供更好的蒸镀效
果，同时也会影响有机薄膜的厚度和图形精度。
2. 分辨率（Resolution）：FMM掩模板的分辨率是指其上孔
洞的最小间距，它决定了可以蒸镀的最小图形尺寸。高分辨率的
FMM可以提供更精细的有机薄膜图形。
3. 位置精度（Position Accuracy）：位置精度是指FMM上
孔洞的位置与设计值的偏差。高位置精度的FMM可以提供更准确
的有机薄膜图形，从而提高OLED器件的性能。
4. 均匀性（Uniformity）：FMM掩模板的均匀性是指其上孔
洞的大小和形状的一致性。高均匀性的FMM可以提供更稳定的蒸
镀效果，从而确保有机薄膜的厚度和图形精度的一致性。
5. 耐热性（Thermal Stability）：由于蒸镀过程中会产生
高温，因此FMM掩模板必须具有耐热性。耐热性差的FMM会在高
温下变形或破裂，从而影响蒸镀效果和OLED器件的性能。
6. 耐腐蚀性（Corrosion Resistance）：由于蒸镀过程中使
用的材料可能具有腐蚀性，因此FMM掩模板必须具有耐腐蚀性。
耐腐蚀性差的FMM会受到腐蚀而影响其性能。
7. 附着性（Adhesion）：FMM掩模板必须与衬底材料具有良
好的附着性，以避免在蒸镀过程中脱落或移动。
8. 平整度（Flatness）：FMM掩模板必须具有平整的表面，
以确保与衬底材料和蒸镀腔室的良好接触。
这些参数指标对于FMM掩模板的设计、制造和使用都具有重
要的指导意义，以确保获得高质量的有机薄膜图形和优异的OLED
器件性能。
发布者：admin，转转请注明出处：http://www.yc00.com/num/1715699364a2658307.html
评论列表（0条）