2024年4月15日发(作者：飞利浦e506)
加速度传感器
一、定义
加速度传感器是一种能够测量加速度的传感器。通常由质量块、
阻尼器、弹性元件、敏感元件和适调电路等部分组成。传感器在加速
过程中，通过对质量块所受惯性力的测量，利用牛顿第二定律获得加
速度值。根据传感器敏感元件的不同，常见的加速度传感器包括电容
式、电感式、应变式、压阻式、压电式等。
二、分类
1、压电式
压电式加速度传感器又称压电加速度计，它也属于惯性式传感
器。压电式加速度传感器的原理是利用压电陶瓷或石英晶体的压电效
应，在加速度计受振时，质量块加在压电元件上的力也随之变化。当
被测振动频率远低于加速度计的固有频率时，则力的变化与被测加速
度成正比。
2、压阻式
基于世界领先的MEMS硅微加工技术，压阻式加速度传感器具有
体积小、低功耗等特点，易于集成在各种模拟和数字电路中，广泛应
用于汽车碰撞实验、测试仪器、设备振动监测等领域。
3、电容式
电容式加速度传感器是基于电容原理的极距变化型的电容传感
器。电容式加速度传感器/电容式加速度计是比较通用的加速度传感
器在某些领域无可替代，如安全气囊，手机移动设备等。电容式加速
度传感器/电容式加速度计采用了微机电系统（MEMS）工艺，在大量
生产时变得经济，从而保证了较低的成本。
4、伺服式
伺服式加速度传感器是一种闭环测试系统，具有动态性能好、动态范
围大和线性度好等特点。其工作原理：传感器的振动系统由“m-k”
系统组成，与一般加速度计相同，但质量m上还接着一个电磁线圈，
当基座上有加速度输入时，质量块偏离平衡位置，该位移大小由位移
传感器检测出来，经伺服放大器放大后转换为电流输出，该电流流过
电磁线圈，在永久磁铁的磁场中产生电磁恢复力，力图使质量块保持
在仪表壳体中原来的平衡位置上，所以伺服加速度传感器在闭环状态
下工作。由于有反馈作用，增强了抗干扰的能力，提高测量精度，扩
大了测量范围，伺服加速度测量技术广泛地应用于惯性导航和惯性制
导系统中，在高精度的振动测量和标定中也有应用。
PS：微机电系统
微机电系统（MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem），也叫
做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的
高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一
个独立的智能系统。常见的产品包括MEMS加速度计、MEMS麦克风、
微马达、微泵、微振子、MEMS光学传感器、MEMS压力传感器、MEMS
陀螺仪、MEMS湿度传感器、MEMS气体传感器等等以及它们的集成产
品。
三、应用举例
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