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东京电子：领跑产业的日企“另类”

作者：张玉来

来源：《董事会》2017年第11期

“只有偏执狂才能生存”（英特尔格鲁夫），东京电子的特立独行成为其领军半导体制造装

置产业的关键因素。不过，它今后的路显然也并不平坦

美国半导体市场调查企业VLSI Research最新公布的全球半导体制造装置企业排行榜显

示，东京电子（TEL）以60亿美元排名2016年世界第四，位列美国应用材料（AMAT）、荷

兰阿斯麦（ASML）、美国拉姆研究（Lam Research）之后。由于上述四巨头销售额均突破50

亿美元，几乎是第五位KLA公司两倍规模，堪称“第一军团”。

上世纪80年代末至90年代初，东京电子曾成功称雄该产业，甚至直到2008年之前也一

直稳居世界第二。金融危机之后，东京电子销售额下滑，这既与日本半导体产业整体衰退息息

相关，同时也受其自身实施企业战略转型的深刻影响。

向半导体设备商的华丽转身

1963年同为日商岩井（今双日株式会社）员工的久保德雄与小高敏夫一起辞职创业，他

们得到东京广播公司（TBS）出资500万日元的支持，创办了东京电子研究所，最初它只有6

名员工，是以进口IC检测工具及零部件等高技术产品、出口VTR与汽车收音机为主营业务的

小型商社。1965年它与仙童半导体（Fairchild）签约，成为其日本市场的IC检测工具代理

商。1968年它又与美国半导体制造装置企业赛默飞（Thermco）牵手，在日本成立合资企业，

成为日本第一家半导体制造装置厂商，它最先引进生产的产品是扩散炉。

然而，真正让东京电子破釜沉舟，从商社彻底转型为半导体制造装置专门厂商的契机，却

是1971年尼克松冲击与1973年石油危机。面对受到沉重打击的日本经济形势，创业者久保德

雄决心带领公司转向高附加值的半导体制造装置领域，彻底退出当时销售占比超过六成的车载

电子产品领域。然而，此次转型整整花费了三年时间，直到1975年公司才走出赤字状况，第

二年又实现了13%销售收入增长和97%的收益增长。

从日本整个半导体制造装置产业来看，它经历了三大阶段：20世纪70年代中期之前的进

口主导时期；70年代中后期至80年代中期的国产装置确立时期；80年代中期之后走向世界时

期。也就是说，东京电子实施的战略转型恰逢日本国产化时期，日本政府不仅实施了进口保护

措施，更重要的是大力扶植产业发展。如研发经费方面，日本政府补助金占比从1970年之前

不足2%，迅速上升至1973年的15%、1976年的26%。而且，这一时期日本工业设备投资也

掀起高潮，电视机、收音机等家电产品，手表、相机等精密仪器，电子计算器、电脑等办公设

备以及娱乐用电子游戏机等，纷纷导入半导体IC部件，整个日本半导体产业迎来了大发展时

期。

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1978年东京电子研究所更名为东京电子公司，1980年在东京证券交易所第二部上市。之

后，依靠国内蓬勃发展的半导体市场，它通过与美国企业合资的方式迅速引进了最先进的生产

技术，同时实施了积极国产化战略。仅仅时隔4年之后，东京电子便升格为东京证券交易所第

一部上市企业。1989年东京电子销售额突破6亿美元大关，成为世界第一大半导体制造装置

企业。与此同时，与半导体产业同步，日本半导体制造装置产业也实现了对美国企业的逆袭成

功：1978年美日欧半导体制造装置市场份额占比为81：10：9；1984年变成了64：31：5；

1988年成为46：50：4。日本仅仅用了十年时间就实现了对美国的赶超，1989年全球前十的

半导体制造装置厂商中有5家是日企，而1979年时没有一家日企。

1994年东京电子又迈出了走向海外的重要一步，开始在欧美构建销售与服务网络。这一

年被其称为“全球化元年”。此前，面向日本国内产品在东京电子销售占比超过80%，仅有20%

是销往海外。但在1998年，东京电子海外销售首次超过国内销售，成为名副其实的依靠全球

市场的企业。此后，这种全球销售特征越加显著，2000年其海外销售占比甚至突破70%大

关，2016年国内市场销售已经萎缩至其销售额的12%，而海外市场则上升至88%。

专业化路线与差异化战略的实施

从企业类型来看，日本半导体制造装置厂商大致可以分为三大类：资本独立型企业，它既

包括东京电子、新川和东京精密等这样的专业型企业，也包括尼康和佳能等兼业型企业；大型

半导体厂商及其系列企业，如日立制作所、东芝的子公司等，以及爱德万、安藤电气等系列企

业；再就是外资系的AMJ、日本ASM等。

以技术商社起家的东京电子，最初曾经承担为NEC、日立等日本大企业引进美国先进技

术的任务，其自身组织规模虽小，但公司内大部分都是技术人才。伴随着这些大客户需求越来

越多，它很快意识到日本将迎来半导体时代。于是，便开始着手构建自己的工厂，并决心进军

半导体产业，成为一家独立的半导体装置制造商，走出了一条专业化道路。迄今为止，东京电

子一直专注于半导体生产装置领域，并没有像更多日本企业那样，随着规模扩大而走向多元化

道路。

东京电子的半导体制造设备几乎覆盖了该领域的主要工艺，如涂胶显影设备、热处理成膜

设备、干法刻蚀设备、化学气相沉积设备、物理气相沉积设备、电化学沉积设备、清洗设备，

封测设备等方面均在全球市场获得了高度评价。但是，东京电子在产品战略上并没有全面铺

开、拉长战线，而是采取差异化战略，聚焦于某些领域，构筑独具特色的竞争优势。迄今为

止，它已经在涂胶显影设备、干法蚀刻设备以及热处理成膜等领域构建起强大竞争优势，2016

年数据显示，它在上述三大领域的市场份额分别是90%、23%和59%。

伴随着物联网时代的到来，对于智能手机以及数据中心服务器的性能要求不断提高，半导

体存储容量不断增加，集成电路也变得更高速，在此背景下，半导体制造装置需求也变得更加

旺盛。最近，所谓三次元结构的NAND闪存（3D NAND）、10纳米集成电路等新技术趋势，

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都极大拉升了半导体业界的设备投资，于是2016年半导体前工程制造装置（WFE）设备投资

同比上年出现大增10%，已经达到370亿美元。

这一年，东京电子半导体制造装置销售额为60亿美元，全球占比为16%。另外，半导体

制造装置业务在东京电子总销售占比为94%，其特征包括：从区域来看，受NAND闪存以及

半导体厂商的旺盛投资，其面向中国大陆、中国台湾、韩国的销售额出现增长显著；从不同生

产装置来看，蚀刻装置推动了需求增长和份额提升，成为增长主动力，成膜技术微细化也使原

子层沉积（ALD）设备增长了两倍；在解决方案业务（零部件、二手设备、改造以及设备维护

服务等）领域销售额也同比上年增长12%（约17亿美元）；此外，半导体制造装置利润率也

从2015年的20%上升至24%，这主要得益于销售增长与开工率提升。

平板制造装置（FPD）是东京电子1990年后拓展的新领域，但至今其销售占比也仅为

6%，利润率也不比半导体制造装置，仅为9%左右。如今，该领域全球市场规模约为100亿美

元，东京电子的销售额约为4亿美元，全球占比仅为4%。不过，其技术优势还是非常显著，

如面向高精细化中小面板的PICP蚀刻装置已被多方关注，未来趋势向好。而且，东京电子在

积极拓展高收益性PICP的同时，也开始积极投资开发10.5和11代新产品。

告别日式传统、追求高效的企业治理机制

“最佳治理方式应该是企业经营方针与事业战略能够服务于股东利益，其执行实施又能随

时受到很好监督，企业内确立起反馈与前馈控制型的经营统治环境”。这是东京电子董事会常

石哲男会长所强调的企业治理机制。他认为，企业经营最佳治理体制就是从短中长期等多个视

角出发，持续实现股东利益最大化。为了能够实现持续增长，东京电子不仅追求董事会成员多

样化，还从实际角度选择能够推进企业发展、同时维护股东利益的最佳人选，建设富有实效性

的董事会运营机制。

东京电子董事会包括三大构成——独立董事、非业务执行董事和业务执行董事，其职能覆

盖两个侧面：一是为提升企业价值而敢冒风险的进攻型治理；再就是对企业运营又能做到实时

监控的保守型治理。董事会之外设有监事会，它来负责监察业务执行决策程序以及业务执行状

况是否妥当或正确，同时承担监察会计监察人的监察方法与结果。

东京电子对于董事会职责与义务做出了明确规定。作为履行股东受托责任，董事会必须能

够以企业增长和提升中长期价值为目标。为此，一是确立企业经营战略与发展愿景；二是遵循

企业发展战略实施执行业务经营；三是组织自由豁达且具有建设性的战略决策讨论，并迅速做

出决断。它特别强调要“尊重少数意见和反对意见”，尽量实现全员一致的战略决策。

东京电子董事会成员共12名，其中有2名是来自外部的独立董事。监事会成员共5名，

其中3名来自外部。为了确保CEO选举的公平以及包括CEO在内的董事薪酬合理和公开，东

京电子还设立了提名委员会和报酬委员会，提名委员会成员不能参选CEO。以提升全球竞争

力和经营透明性为目标，东京电子实施了与公司经营业绩以及股东价值高度联动性的董事报酬

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制度。它要求报酬委员会参照全球行业内企业薪酬水平以及各种环境因素，以是否提升企业价

值和股东利益为关键要素，重点考核本期纯利润和ROE（自有资本利润率）两项重要指标，

向董事会提交报酬方针及具体方案。

为了考核董事会，东京电子采取多项措施：一是问卷评价调查，即关于各位董事及监事的

问卷评价调查，再以独立董事和社外监事为核心组织讨论其结果，最后经董事会整体讨论进行

自我分析与评价，最终公布其概要结果；二是在董事会内实行CEO与业务执行董事定期报告

制度；此外，还设定董事会相关论题，组织多样化讨论。

东京电子的企业治理机制与传统的日式经营模式形成巨大反差，这也使其形成了与普通日

企大相迥异的经营风格，其突出特征包括两点：一是企业经营决策速度快捷、高效，正如原社

长东哲郎所指出的，“经常被外国企业视为非日本企业”；二是高度重视利润率，因为这是企业

发展以及维护股东利益的关键所在，2005年以来东京电子的年均经常利润率为12%，普遍高

于普通日企。

新的愿景与全新商业模式

伴随着物联网时代的到来，半导体产业传统3-4年循环周期已发生改变。物联网将使更多

产品搭载半导体，而且自动驾驶、AI研究实用化以及数据云处理等高端半导体需求也在迅速

扩大。在此背景下，东京电子不断调整企业发展愿景和应对战略。

2015年它制定了《中期经营计划》，确立了以全球化企业盈利能力为发展目标，着力在

产品竞争力、顾客应对力、生产效率等三个领域投入资源，构建更稳健的经营基石与业务基

础，形成了蚀刻、成膜和洗净等三大业务支柱，建立了多个新的量产生产线。它还认识到，从

长期来看，伴随着新材料的开发以及晶体管结构的变化，今后技术性课题更具难度且呈现复杂

化趋势。为此，东京电子要依靠自身丰富产品群优势，不是开发单一的高性能装置，而是瞄准

解决问题最佳化的整体工序，更早参与客户的新技术开发。对此，它还采取了三项措施：首先

是与客户企业研发部门建立更深层次的技术交流；其次营销与技术开发都设立客户全能经理

人，强化客户应对能力；三是设置新的程序统合中心，进一步强化适应新时代的核心技术。

2017年东京电子重新制定了新的《中期经营计划》，并开始构建新的商业模式，追求全

球化水平的收益性和资本效率。首先是提出了“下行柔性”财务目标，也就是即便经济下行也要

保持利润，为此它确立了新的方向和原则：一是开发界限利润率高的产品和服务；二是不为获

得市场份额而实施低价销售行为；三是以长期循环视角进行开发和设备投资；四是打造最适化

物流并提升业务生产效率；五是提高销售债权和库存等资产效率。

全新商业模式也覆盖了人事制度、知识产权以及IT战略方面。2017年7月，东京电子导

入以职责为基础的全球统一职级制度，还把员工持股大会奖励金提升至15%，着力强化各种研

修和培训，以此推进内部人才交流、发挥激励作用、实现技术创新。再就是强化知识产权战

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略，该公司素以全球申请专利率高为特征，每年600-800项专利，今后将重点以客户设有工厂

的国家申请专利保护为重点。

“只有偏执狂才能生存”（英特尔格鲁夫），东京电子的特立独行成为其领军半导体制造装

置产业的关键因素。不过，它今后的路显然也并不平坦。

作者系南开大学日本研究中心副主任