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半导体厂务系统事故及经验教训征集，有金币奖励！

发表时间: 2007-3-31 08:31 作者: hhnec 来源: 半导体技术天地

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半导体厂务系统相关的事故及经验教训征集，根据精彩与详尽程度有不等的金币奖励！

说明：每个FAB、每个做厂务的engineer都会碰到各种各样、大大小小的事故，以及由此产生许多的经验教训供他人借鉴。作为各位专业人士互相之间的业务交流，请大家说出你碰到过的各类事故（也可以是你听说的其他FAB发生的真实事件）。要求说明时间、地点、发生情况以及对策、相关的经验教训等。

前车之鉴、他山之石，与人共享，善莫大焉！

我也来说两句

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kitgain (2007-3-31 11:33:59)

版主大人的宝贴怎么不回呢？

俺抢沙发先。

某fab发生的真实案例，猴年马月子时亥分，厂务特气小组highlight Kr/F2/He消耗太快，整个fab只有一种设备使用这种鸟气体－－呵呵，卖个关子先。追查发现一周以前新进的这台设备刚做完hookup，即QC验收通过，现场一切正常，但源头既然在这里，还是要查。

事故现状：该特气消耗量增大到平时2倍，而整个工厂、设备正常运转；

源头分析：就是这台设备了。

特气组开始彻查整套管路，从厂务GC到VMB到设备端，一边询问EE了解状况;EE初闻此信息，惊骇莫名 ，F2泄漏，还了得，但设备这边一切看起来正常，也帮不上什么忙。特气组累死累活每端管路（即有接头的2端管路）做he leak,保压测试，最后查到VMB到laser端，这里开始是EE的范围了。这时发现测试不过，laser接口端漏气！！！

继续打开接口端，发现小小的mouse tip微微扭曲变形一点点，毒气就是从这么一点点的罅缝，越过swage lock而泄漏！

追究原因，在于该mouse tip的问题，特气施工商一口咬定是EE的问题，原因是当时恰恰特气施工商在施工这段管路时，mouse tip用完了。而随laser来的mouse tip又有很多，因此监督施工的EE马上把laser自带的mouse tip好意给特气施工商。laser供应商不愿承担责任，声称laser端也做过2天标准测试，即抽真空，看真空度来判断该接口管路是否ok，结果是通过的。

继续分析mouse tip为什么变形，特气供应商宣称他们使用自带的国产品，质硬。随机台一起来的mouse tip圆环宽度更小，质脆。即月亮不是西方的圆。特气施工商根据平时惯例，施加较大的力气拧固swage lock，于是mouse tip开始变形，而最初的几天，该变形可能并不明显，以致于laser供应商未检查到任何异常。

EE“咬”厂务，laser端0.5米附近就有2个detector，工厂到处装的也有，为什么全厂毒气报警系统不报警，已泄漏一周了，想毒死俺呀！厂务被追的没法，才透漏惊天内幕，detector买的过于灵敏，经常误报，以致于后来把阈值跳到1％。而F2在混合气中的比例恰恰也是1％，泄漏到空气中马上就被稀释，detector怎么会报警呢？可怜MFG如花似玉的PPMM，一直被蒙在鼓里。万幸，该泄露端正好在laser的保护设计中，周围就有真空排放到GEX。再加上F2化学性质太活泼，就是泄漏，也会马上与周围物质发生反应，再剩下的也被GEX抽走了。

公司对此次事故的处理结果不得而知，但厂务特气组确实发挥了他们很重要的作用，通过monitor特气消耗量的异常变大，而认真调查，排除了一个重要隐患，值得学习。

强烈各位看官大人送些金币，小弟已入不熬出多时，

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本帖最后由 kitgain

于 2007-3-31 11:38

编辑 ]

都没力气发帖啦～～

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dingweiyang (2007-3-31 22:15:08)

kitgain的话让我想起了一些业主和厂商之间的事

我是厂商的,我碰到过无数次业主,主要是厂务负责会勘的工程师说点出错的事,比如把接点位置搞错,接点类型搞错,甚至还有需求颠倒什么的,遇到的太多了,前几天遇上了个把t改成t的.....这是厂务工程与设备沟通出现了问题,追究起来常常拿厂商当炮灰,不要这样了,kitgain说的这特气问题我个人觉得大家都有责任,厂商测试,设备提供商都有问题,幸亏没出现台湾茂德那样的惨事,作为一个厂商,我觉得该卖人情的地方可以站在本方利益安全的立场上使劲买,比如什么bulk gas什么的,特气出了事才查,你们这多少有点玩忽职守

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genesun (2007-4-01 13:29:10)

HHNEC斑竹还真快啊

先简单写一下:

以前我们公司在纯水再生的时候,供应HCL的泵管路爆裂,造成地下一层机房发生严重HCL泄露,

整个机房弥漫的都是HCL气体！~我不是做纯水的，具体原因不太清楚！~说一下大概的处理过程！~发现后打开所有的机房大门，使之通风，稀释气体浓度，避免管路腐蚀（机房里面还有很多空调和其他管线）；穿好防化服和带氧气检查出事管路，控制HCL继续外泄（至少2人以上一起）；最后是用消防水稀释冲洗地表盐酸，联系盐酸厂商将排水沟的废液用水泵回收！~只是简单介绍一下 呵呵

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本帖最后由 genesun

于 2007-4-3 16:16

编辑 ]

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shensub (2007-4-01 13:44:35)

很多位于2F的空调机房都没有地漏，而地面存在裂缝、管线穿楼板的地方没有仔细封闭，在发生盘管破裂、机体渗漏、管道破损的情况下水很容易漏至1F，如果1F恰巧是重要的配电间、控制机房等将会造成重大损失 有上水的地方都应该设置下水

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hhnec (2007-4-01 15:45:42)

QUOTE:

原帖由 genesun 于 2007-4-1 13:29 发表

HHNEC斑竹还真快啊

先简单写一下:

以前我们公司在纯水再生的时候,供应HCL的泵管路爆裂,造成地下一层机房发生严重HCL泄露

genesun赶快将内容修改完整，我可以多多加分啊！

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handsets (2007-4-02 12:15:56)

要回去总结一下，稍后传来

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iarybol (2007-4-02 23:11:03)

经过：某年某fab设备检修的时候，在动力夹层内漏水。后经检查，是一条弃用的冷冻水管管端的截止阀断裂，断裂处有明显的锈蚀痕迹。

分析为：由于长时间不用，截止阀处冷冻水长时间滞留，造成阀体锈蚀，再加上当时车间内用水设备都已经关闭，管内水压升高，造成阀门断裂泄漏。好在当时车间内部设备都已经断电，不然后果堪忧啊。

教训：弃置的管路从支路彻底断除；对旧管路进行彻查，对同期管路、阀门进行更换。

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iarybol (2007-4-03 13:19:17)

版主的加分收到了。。

谢谢鼓励！

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本帖最后由 iarybol

于 2007-4-3 13:21

编辑 ]

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yangziku (2007-4-03 16:19:48)

Kr/F2/He蛮厉害的,预留swagelock的连接么......机台设备商真不是好东西.....

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hhnec (2007-4-03 20:56:53)

QUOTE:

原帖由 handsets 于 2007-4-2 12:15 发表

要回去总结一下，稍后传来

handsets：还没有总结好吗？不要食言哦！

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kitgain (2007-4-05 15:39:12)

QUOTE:

原帖由 dingweiyang 于 2007-3-31 22:15 发表

kitgain的话让我想起了一些业主和厂商之间的事

我是厂商的,我碰到过无数次业主,主要是厂务负责会勘的工程师说点出错的事,比如把接点位置搞错,接点类型搞错,甚至还有需求颠倒什么的,遇到的太多了,前几天遇上了个 ...

丁工不厚道，一帮子打死一帮EE，俺当初那个小组EE还是蛮勤快负责的，vendor在现场施工，我们都在现场看着，吹牛皮侃大山，跑来跑去互相帮忙；以后新设备来了，还是老相识来施工，又继续寒暄～～

连我们公司天天乱咬人的hook up都喜欢我们，优先帮我们设备排工期做hookup。

我刚才讲的那个案例，主人翁也是看vendor没有材料了，受vendor邀请，从随机器来的一大堆零部件中找来需要的，帮忙耳。谁料到原厂来的东西也不是好东西。

vendor当时做的测试程序、过程、仪器、数据等以及laser供应商做的2天测漏测试都是准确且无误的，这不是玩忽职守。

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本帖最后由 kitgain

于 2007-4-5 15:42

编辑 ]

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genesun (2007-4-05 16:33:20)

QUOTE:

原帖由 dingweiyang 于 2007-3-31 22:15 发表

kitgain的话让我想起了一些业主和厂商之间的事

我是厂商的,我碰到过无数次业主,主要是厂务负责会勘的工程师说点出错的事,比如把接点位置搞错,接点类型搞错,甚至还有需求颠倒什么的,遇到的太多了,前几天遇上了个 ...

说一下关于dingweiyang所说需求颠倒的事

我之前做过一段时间的EXHAUST工程，需求的问题往往都是由设备提出的，并非厂务需求。毕竟设备资料也只有设备部门才有，他们不是很专业，弄错的时候也很正常。

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hhnec (2007-4-05 22:11:42)

QUOTE:

原帖由 kitgain 于 2007-4-5 15:39 发表

丁工不厚道，一帮子打死一帮EE，俺当初那个小组EE还是蛮勤快负责的，vendor在现场施工，我们都在现场看着，吹牛皮侃大山，跑来跑去互相帮忙；以后新设备来了，还是老相识来施工，又继续寒暄～～

连我们公 ...

哈哈哈！

kitgain为什么说你们公司的hook up天天乱咬人？

还有一个问题，我觉得比较奇怪：为何贵公司的毒气系统使用了SWG的接头？！为何不用VCR接头？

VCR接头的可靠性比SWG接头要高得多！

我公司只有在CDA和BA（呼吸空气）中才允许使用SWG接口。

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本帖最后由 hhnec

于 2007-4-5 22:17

编辑 ]

不解.gif

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wlf82930 (2007-4-06 13:02:15)

20世纪90年代处，无锡某公司国家七五重点微电子工程竣工在即，当时洁净级别是0.12um100级的隧道室循环风机系统，采用的是顶部安装美国DAW公司的循环风机系统，系统在进行冷冻水试压完成后，需要把冷冻水从排污阀中排除，但是由于循环风机共有80多台，工人在放水过程中，把绝大多数的排污阀都打开了，造成了大量的水排向雨水管道，导致了管道内的水来不及排

并且通过连接管道进入了循环风机的冷凝器集水水盘中，而后又通过入风机段进入了送风静压箱内，水大量泡湿了下面的ULPA，并使得光刻机等重要设备进水，损失惨重，当事人和领导招到了电子工业部的严厉处理

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lingxiattr (2007-4-06 14:35:33)

看来大部分都不是大问题

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hhnec (2007-4-06 20:01:13)

QUOTE:

原帖由 wlf82930 于 2007-4-6 13:02 发表

20世纪90年代处，无锡某公司国家七五重点微电子工程竣工在即，当时洁净级别是0.12um100级的隧道室循环风机系统，采用的是顶部安装美国DAW公司的循环风机系统，系统在进行冷冻水试压完成后，需要把冷冻水从排污阀 ...

谢谢你的精彩描述！前事不忘，后事之师。

这个实例值得各位厂务人员学习并警醒！

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kitgain (2007-4-11 08:37:07)

QUOTE:

原帖由 hhnec 于 2007-4-5 22:11 发表

哈哈哈！

kitgain为什么说你们公司的hook up天天乱咬人？

还有一个问题，我觉得比较奇怪：为何贵公司的毒气系统使用了SWG的接头？！为何不用VCR接头？

VCR接头的可靠性比SWG接头要高得多！

我公司只 ...

原来我们公司其它module EE太拽，就像我们现在网上一些的fish一样，未作调查就轻易下结论，乱咬hookup。hookup的人都是有10年半导体行业以上，且在国外干过的资深工程师，所以hookup牛xx的狠，对这些EE毫不放过，一有机会就highlight，结果自然是module EE被厂务“咬”的厉

害

我们例外，天天跟hookup称兄道弟，我家装修还要请hookup的大哥帮忙审核装修材料呢这个案例使用mouse cap，应该是SWG的，机器本身就是这个接口，通F2/Ke/Ne，没办法。

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zehui73 (2007-4-11 11:50:02)

某大公司换错了化学品. 一般化学桶都有条型码,操作人员为了省事,直接扫描把卸下来的空桶上的条形码,这样换新桶的时候就不需要再扫描了.直接导致把酸桶换错了.等到发现的时候,机台已经要过一次酸了,结果损失惨重,花了一天时间洗设备和管道.这两个换桶操作工被开除.得出结论,切记,工作要按照规范.

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kitgain (2007-4-11 16:37:19)

今年上海某fab厂某RTP爆炸，调查原因如下：

该厂PCW长期水质较差，在RTP 灯丝冷却部位阻塞，EE疏通后，（可能）将管道弄破，但当时并没发现。

结果在1100度的高温下，泄漏的PCW快速气化，造成爆炸。整个机台完全报废。

这个设备是二手机台，管道老化、阻塞比较常见。

vendor建议在安装之时加强clean工作。

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hhnec (2007-4-11 20:24:03)

QUOTE:

原帖由 zehui73 于 2007-4-11 11:50 发表

某大公司换错了化学品. 一般化学桶都有条型码,操作人员为了省事,直接扫描把卸下来的空桶上的条形码,这样换新桶的时候就不需要再扫描了.直接导致把酸桶换错了.等到发现的时候,机台已经要过一次酸了,结果损失惨重 ...

zehui73竟然把这事也说出来了！

短消息悄悄地告诉我，你是什么公司的？

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本帖最后由 hhnec

于 2007-4-11 20:28

编辑 ]