我国亚微米级光刻机有望实现国产

我国亚微米级光刻机有望实现国产


2023年12月10日发(作者:24英寸显示器长与宽)

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运往内蒙古 半导体技术的发展都是以光刻线宽为代表。但目前在中 辉腾锡勒风 国,生产用光刻机基本依赖进口,国产品牌的亚微米级 场进行安装 光刻机还是空白。芯硕半导体公司生产的直写式光刻机 试用,正式 拥有先进的光刻技术,并具有中国自主知识产权,将为 并入国家电 中国光刻机技术的发展起到促进作用。 网运行,这 是目前中国 沈机集团面向国内推动“无人化加工” 沈阳机床集团于2007年11月6~10日在上海举行的 最大功率的 风力发电机 组,每小时 2007中国国际工业展一一数控机床和金属加工展上展示 的发电量可 了装配有悬臂式机器手的数控机床HTC2546a,通过组网 达到2000千 管理等技术,该机床可以实现在外国已比较普遍的“无 瓦时。 人化加工”。 作为风 “无人化加工”是通过网络控制来实现,这让在办 电产业的提前介入者,2006年底开始,由海装公司牵头 公楼内的人员可远程控制机床,而悬臂式机器手用来上 承担的“大功率风电机组关键技术开发与产业化”项 下料。据沈机现场人员介绍, “无人化加工”虽然在人 目,就在重庆市“十一五”重大科技专项、市新型工业 力资源成本高昂的外国已很普遍,但在国内的发展仍受 化专项等资金项目的支持下,先后攻克了机组传动链、 到限制。沈机此次展示具有“无人化加工”技术的数控 机舱优化布局等一批大功率风电机组的系统集成技术, 机床,就是希望能够将该技术向国内企业,尤其是国内 具备了“全功率试验、系统集成、再工程化”的设计和 合资和独资企业推广。 制造能力,累计投入了上亿元资金。 沈机的组网管理软件为完全自主知识产权,采用标 准的串行通讯协议,可实现数控机床的程序传输、机床 温州公司研制成功大型数控球阀磨床 近日,由温州1瑞安南洋汽摩集团独立研发的 QM580等大型数控球阀磨床生产成功,填补了国内该类 技术的空白。 工作状态监控和机床故障的诊断和远程遥控。 国产伺服压力机在济南研制成功 济南二机床集团日前自主研制成功伺服压力机,伺 据介绍,以前,温州1市阀门球体企业所用的磨床都 服压力机技术是目前国际上最先进的压力机技术之一, 需要进口,价格昂贵。如今温产大型数控球阀磨床研发 适用于加工汽车大型覆盖件,在国外只有极少数公司掌 成功,可大大降低企业的生产成本。 握该技术并少量投入生产。与传统机械压力机相比,伺 服压力机的主驱动由原来的定量控制,变为任意编程控 制,整个冲压过程周期可以任意调整,使能量分配更加 合理,与自动化系统可以高度柔性连接,生产效率得到 我国亚微米级光刻机有望实现国产 具有世界先进水平、拥有自主知识产权的直写式光 大幅提升。 刻机即将于12月底在合肥面世,我国亚微米级光刻机完 全依赖进口的局面有望被打破。 为紧跟当今国际压力机技术潮流,适应汽车制造业 快速发展的需求,济南二机床自2006年起加快了对伺服 “功底”和强大的自主创新能力,在保留了原有多连杆 据悉,由芯硕半导体(合肥)有限公司生产的两台 压力机的研发步伐。依托自身在压力机技术方面深厚的 直写式光刻机样机已进入最后的总装调试阶段,其分辨 率达到亚微米级,从两个主要的性能指标分辨率和产能 传动机械压力机先进性的基础上,成功研发出独具二机 考虑,与目前在此领域先进的日本和德国同类产品相 床技术特色的“混合驱动”伺服压力机,并已经投入实 比,芯硕的产品毫不逊色。 光刻机是半导体设备里最关键的设备之一,每一代 验生产 ■■I三二Il_ 


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